泉州信息工程学院马天军获国家专利权
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龙图腾网获悉泉州信息工程学院申请的专利MEMS气体传感器获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222979513U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421483320.2，技术领域涉及：G01N27/12；该实用新型MEMS气体传感器是由马天军;李娜;孙建海;薛宁;张淼;程建群;孙旭光;方刚设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本MEMS气体传感器在说明书摘要公布了：本申请提供了一种MEMS气体传感器，MEMS气体传感器包括硅衬底、支撑层、加热元件、隔离层、测试元件和气敏元件，硅衬底包括正面、以及背离正面的背面，正面设有隔热腔，背面设有镂空的聚热腔，隔热腔和聚热腔连通，硅衬底还包括隔热腔相对设置的第一腔壁和第二腔壁；支撑层连接于第一腔壁和第二腔壁之间并位于隔热腔，且支撑层将隔热腔和聚热腔隔离；加热元件设置于支撑层并位于隔热腔内；隔离层覆盖于支撑层并覆盖加热元件，隔离层平行于支撑层；测试元件设置于隔离层背离加热元件的一面；气敏元件设置于测试元件背离隔离层的一面。
本实用新型MEMS气体传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS气体传感器，其特征在于，所述MEMS气体传感器包括： 硅衬底，包括正面、以及背离所述正面的背面，所述正面设有隔热腔，所述背面设有镂空的聚热腔，所述隔热腔和所述聚热腔连通，所述硅衬底还包括所述隔热腔相对设置的第一腔壁和第二腔壁； 支撑层，连接于所述第一腔壁和所述第二腔壁之间并位于所述隔热腔，且所述支撑层将所述隔热腔和所述聚热腔隔离； 加热元件，设置于所述支撑层并位于所述隔热腔内； 隔离层，覆盖于所述支撑层并覆盖所述加热元件，所述隔离层平行于所述支撑层； 测试元件，设置于所述隔离层背离所述加热元件的一面；以及 气敏元件，设置于所述测试元件背离所述隔离层的一面。
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