合肥领航微系统集成有限公司王国谦获国家专利权
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龙图腾网获悉合肥领航微系统集成有限公司申请的专利一种刻蚀机的排气装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980447U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421488790.8，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种刻蚀机的排气装置是由王国谦;詹同舟;梁龙;石彦立设计研发完成，并于2024-06-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种刻蚀机的排气装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种刻蚀机的排气装置，包括：吸收组件，所述吸收组件一侧壁固定有与刻蚀机内部进行联通的进气管以对排气进行吸收净化；轴流风机，设置于进气管内侧；其中，所述吸收组件包括吸收室、驱动室、轴杆、纤维布及风板，所述吸收室与驱动室通过隔板相连接，且两者相对应的同一端内部联通；通过设置有吸收室、驱动室、轴杆、纤维布及风板，避免在对刻蚀机的废气净化时，需要另外通过泵体抽取吸收剂向上运动才能与迎来的废气接触吸收，本装置不需要另外的泵体，即可实现吸收剂与废气相向运动，从而利用吸收剂对废气进行净化，降低了设备的使用量，节省了成本，易于使用。
本实用新型一种刻蚀机的排气装置在权利要求书中公布了：1.一种刻蚀机的排气装置，其特征在于，包括： 吸收组件3，所述吸收组件3一侧壁固定有与刻蚀机内部进行联通的进气管1以对废气进行吸收净化； 轴流风机2，设置于进气管1内侧； 其中，所述吸收组件3包括吸收室301、驱动室302、轴杆304、纤维布305及风板307，所述吸收室301与驱动室302通过隔板相连接，且两者相对应的同一端内部联通，所述纤维布305通过支架及轴杆304转动安装于吸收室301内侧，且所述轴杆304的一端伸入到驱动室302内侧并与风板307相配合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人合肥领航微系统集成有限公司，其通讯地址为：230031 安徽省合肥市高新区孔雀台路2899号联东U谷·合肥高新国际企业港18-101号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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