芯恩(青岛)集成电路有限公司魏晓平获国家专利权
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龙图腾网获悉芯恩(青岛)集成电路有限公司申请的专利喷头及气相沉积装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222975285U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421485248.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型喷头及气相沉积装置是由魏晓平;张琦设计研发完成，并于2024-06-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本喷头及气相沉积装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种喷头及气相沉积装置，其中，喷头包括喷头本体和调节机构，其中，喷头本体上设有第一冷却流道，第一冷却流道呈螺旋状由喷头本体的中心向喷头本体的外侧延伸，调节机构与第一冷却流道连通，用于在预设时间间隔内调节冷却介质在所述第一冷却流道内流动方向，通过在预设时间间隔内改变冷却介质在第一冷却流道内的流动方向，从而保证冷却介质对喷头本体的冷却的均匀性，以将喷头本体的整体进行降温至预设温度，从而减少金属ALD薄膜碳化物的生成，进而降低颗粒物的产生，以保证ALD薄膜的稳定性和一致性。
本实用新型喷头及气相沉积装置在权利要求书中公布了：1.一种喷头，其特征在于，包括： 喷头本体，设有第一冷却流道和多个通孔，所述第一冷却流道呈螺旋状由所述喷头本体的中心向所述喷头本体的外侧延伸，多个所述通孔布列于所述第一冷却流道的间隙处； 调节机构，与所述第一冷却流道连通，用于在预设时间间隔内调节冷却介质在所述第一冷却流道内流动方向； 所述调节机构包括： 换向阀，与所述第一冷却流道连通； 控制器，与所述换向阀电连接，所述控制器用于在所述预设时间间隔内控制所述换向阀改变所述冷却介质进入所述第一冷却流道内的方向。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人芯恩(青岛)集成电路有限公司，其通讯地址为：266000 山东省青岛市黄岛区太白山路19号德国企业南区401；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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