广东先导微电子科技有限公司郑金龙获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种摆动式冲洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222980457U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421450549.6，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种摆动式冲洗装置是由郑金龙;王滔;周铁军;马金峰设计研发完成，并于2024-06-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种摆动式冲洗装置在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体衬底材料制造技术领域，具体公开了一种摆动式冲洗装置，包括：支撑架、摆动组件和冲洗件；所述摆动组件包括：电机和摆动架；所述摆动架沿竖直面可摆动设置于所述支撑架的外侧；所述摆动架用于放置衬底片；所述电机设置于所述支撑架上，且与所述摆动架传动连接，用于带动所述摆动架摆动；所述冲洗件设置于所述支撑架外侧，且所述冲洗件的内侧设置有出水口。本方案提供的摆动式冲洗装置能够在为衬底片冲洗的过程中，通过电机带动摆动架和衬底片沿竖直面摆动，使得衬底片表面被均匀冲洗，能够提升衬底片冲洗的均匀效果以及提升对衬底片的清洗效率。
本实用新型一种摆动式冲洗装置在权利要求书中公布了：1.一种摆动式冲洗装置，其特征在于，包括：支撑架（10）、摆动组件（20）和冲洗件（30）； 所述摆动组件（20）包括：电机（21）和摆动架（22）； 所述摆动架（22）沿竖直面可摆动设置于所述支撑架（10）的外侧； 所述摆动架（22）用于放置衬底片； 所述电机（21）设置于所述支撑架（10）上，且与所述摆动架（22）传动连接，用于带动所述摆动架（22）摆动； 所述冲洗件（30）设置于所述支撑架（10）外侧，且所述冲洗件（30）的内侧设置有出水口（31）。
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