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龙图腾网获悉广东中图半导体科技股份有限公司申请的专利晶圆自动下片装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222995368U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421838175.5，技术领域涉及：H01L21/677；该实用新型晶圆自动下片装置是由全明;李海虹;朱标骑;初守庆设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本晶圆自动下片装置在说明书摘要公布了：本实用新型属于自动化技术领域，尤其涉及一种晶圆自动下片装置。晶圆自动下片装置包括上料机构、拆卸机构、下料机构和下片机构，上料机构包括存储组件和上料机械手，存储组件能够存储多个治具；上料机械手设于存储组件的周侧，上料机械手能沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动并绕Z轴方向旋转，以夹取任一治具；拆卸机构包括拆卸台和拆卸机械手，上料机械手能够将治具放置于拆卸台上，拆卸机械手能拆卸治具上的螺丝；下料机构包括收料组件和下料机械手，下料机械手能沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动，以将上片和下片从拆卸台移动至收料组件内；下片机构包括收片组件和下片机械手，以将晶圆从拆卸台移动至收片组件内。

本实用新型晶圆自动下片装置在权利要求书中公布了：1.晶圆自动下片装置，用于将晶圆从治具内拆下，所述治具包括上片和下片，所述上片和所述下片之间通过螺丝连接，所述晶圆置于所述上片和所述下片之间，其特征在于，包括： 上料机构10，所述上料机构10包括存储组件11和上料机械手12，所述存储组件11能够存储多个所述治具；所述上料机械手12设于所述存储组件11的周侧，所述上料机械手12能沿X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动并绕所述Z轴方向旋转，以夹取任一所述治具； 拆卸机构20，所述拆卸机构20包括拆卸台21和拆卸机械手22，所述拆卸机械手22设置为四轴工业机器人，所述上料机械手12能够将所述治具放置于所述拆卸台21上，所述拆卸机械手22能拆卸所述治具上的所述螺丝； 下料机构30，所述下料机构30包括收料组件31和下料机械手32，所述下料机械手32能沿所述X轴方向、所述Y轴方向和所述Z轴方向移动，以将所述上片和所述下片从所述拆卸台21移动至所述收料组件31内； 下片机构40，所述下片机构40包括收片组件41和下片机械手42，所述下片机械手42设置为五轴工业机器人，以将所述晶圆从所述拆卸台21移动至所述收片组件41内。

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