上海微电子装备(集团)股份有限公司施艳春获国家专利权
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龙图腾网获悉上海微电子装备(集团)股份有限公司申请的专利直线运动电机、致动模组及光刻设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222996410U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421845141.9，技术领域涉及：H02K41/02；该实用新型直线运动电机、致动模组及光刻设备是由施艳春;张霖;姜杰设计研发完成，并于2024-07-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本直线运动电机、致动模组及光刻设备在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种直线运动电机、致动模组及光刻设备。基于海尔贝克阵列的磁密分布情况和磁路分布规律可知，在第一导磁体对应第一切向磁铁的位置处的外侧，以及在第二导磁体对应第二切向磁铁的位置处的外侧，磁通密度的饱和度较低，因此可设置相应的第一减重槽和或第二减重槽，第一方面，不会影响主要磁路的磁通密度饱和度，从而不影响电机的推力常数，对电机的最大出力无影响，第二方面，可以减小导磁体的质量，从而减小电机的动子的质量，进而减小动子和运动台连接一起后整体的质量，提高电机对运动台的驱动效率，第三方面，可将第一减重槽和或第二减重槽用于动子和运动台的定位安装，从而简化二者之间的定位结构和安装结构。
本实用新型直线运动电机、致动模组及光刻设备在权利要求书中公布了：1.一种直线运动电机，其特征在于，所述直线运动电机的出力方向平行X方向，所述直线运动电机包括： 第一导磁体； 第二导磁体； 设置在所述第一导磁体和所述第二导磁体之间的线圈； 设置在所述第一导磁体和所述线圈之间的第一海尔贝克阵列，所述第一海尔贝克阵列包括沿所述X方向排布的多块第一磁铁，且磁化方向平行所述X方向的第一磁铁为第一切向磁铁； 设置在所述第二导磁体和所述线圈之间的第二海尔贝克阵列，所述第二海尔贝克阵列包括沿所述X方向排布的多块第二磁铁，且磁化方向平行所述X方向的第二磁铁为第二切向磁铁； 其中，所述第一导磁体背离所述第一海尔贝克阵列的一侧沿Y方向对应至少一块所述第一切向磁铁的位置处设置第一减重槽，和或，所述第二导磁体背离所述第二海尔贝克阵列的一侧沿所述Y方向对应至少一块所述第二切向磁铁的位置处设置第二减重槽； 所述Y方向平行所述线圈的轴向，所述Y方向垂直所述X方向。
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