信利光电股份有限公司黄盛谋获国家专利权
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龙图腾网获悉信利光电股份有限公司申请的专利一种真空磁控溅射镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222990190U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421422977.8,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种真空磁控溅射镀膜装置是由黄盛谋;林焕力;田龙;方婧设计研发完成,并于2024-06-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种真空磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种真空磁控溅射镀膜装置,包括:本体;挂点,突出的设置于本体侧面上;金属挂板,通过挂点悬挂在本体上;在金属挂板背向本体的一侧设有吸附垫;吸附垫为含氟聚氨酯多孔膜。通过在金属挂板上设置含氟聚氨酯多孔膜作为吸附垫,利用含氟聚氨酯多孔膜的柔韧性,使得吸附垫紧密贴合在金属挂板上的同时,还能紧紧的吸附住盖板,相对于双面泡棉的吸附垫方案,本方案不会出现易脱落及残胶的问题,同时含氟聚氨酯多孔膜不易粘黏异物和灰尘,极大的降低了盖板被异物划伤的风险。
本实用新型一种真空磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种真空磁控溅射镀膜装置,其特征在于,包括: 本体; 挂点,突出的设置于所述本体侧面上; 金属挂板,通过所述挂点悬挂在所述本体上; 在所述金属挂板背向所述本体的一侧设有吸附垫; 所述吸附垫为含氟聚氨酯多孔膜; 所述含氟聚氨酯多孔膜一面吸附在所述金属挂板上,另一面用于吸附盖板; 所述金属挂板背向所述本体的一侧具有两个贴合面; 每个所述贴合面对应一个所述盖板; 所述金属挂板背向所述本体的一侧呈折叠门形状。
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