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龙图腾网恭喜上海至纯洁净系统科技股份有限公司;江苏启微半导体设备有限公司申请的专利一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116294548B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310198523.0，技术领域涉及：B08B3/10；该发明授权一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构是由江峰;蒋渊;李盼盼;邓信甫;卢证凯设计研发完成，并于2023-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构在说明书摘要公布了：本发明涉及到一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构，该干燥槽体结构包括主体槽，为进行液体排放的带有缓坡的漏斗型主体结构；下沉式槽道，位于主体槽的底部中心，在其斜坡最低端设有排放孔；溢流槽，分别设置于主体槽的两侧，用以排出溢流的超纯水和异丙醇；负压腔，设置于溢流槽内，形成负压排风腔体；注入水管路，设置于下沉式槽道内，其上设有注入管排放孔。本发明的干燥槽体结构能够做到批量晶圆正反面的均匀超纯水浸润，并且形成垂直向的顺流牵引，避免产生紊乱绕流，利用负压排风腔体体来保证槽内IPA雾散布均匀，外部空气不会进入腔体内污染晶圆。

本发明授权一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构在权利要求书中公布了：1.一种优化摆动型马兰格尼干燥流场的干燥槽体结构，其特征在于，该干燥槽体结构包括：主体槽和溢流槽， 所述主体槽为进行液体排放的带有缓坡的漏斗型主体结构，包括： 下沉式槽道，位于主体槽的底部中心，具有倾斜的斜坡，斜坡最低端设有排放孔； 所述下沉式槽道内底部的排放孔作为快排水接口，在该快排水接口处安装有快排水阀，在所述下沉式槽道内侧壁上设有慢排水接口，在该慢排水接口处安装有慢排水阀； 注入水管路，设置在所述下沉式槽道内，在注入水管路上设有注入管排放孔； 所述注入水管路上的注入管排放孔为向上两侧扩散的直排列阵孔； 在晶圆下方的位置，相邻直排列阵孔的间距等于相邻晶圆之间的间距，在晶圆对应以外的位置，相邻直排列阵孔的间距大于相邻晶圆之间的间距； 所述溢流槽设置在主体槽的两侧，用以将溢流的超纯水和异丙醇残液排出，包括： 溢流进液腔，设置在一侧的溢流槽内，通过溢流进液管连通外部超纯水管路，通过溢流进液孔连通至主体槽内，以向主体槽内沿水平方向注入超纯水； 负压腔，设置在两侧的溢流槽的外侧，通过排风口引导气体排出，形成负压排风腔体； 在所述主体槽一侧具有溢流进液腔的溢流槽上部设有盲板，在另一侧的溢流槽上设有对应液体溢流区域的导流板形成的引流道； 所述引流道为溢流槽上方的斜刀式引流坡道，所述斜刀式引流坡道的底部对齐所述负压腔的上部； 所述负压腔与溢流槽通过壁板隔开，在所述壁板上部设有排气孔连通负压腔和溢流槽，所述导流板的底部与所述排气孔的位置相对。

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