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龙图腾网恭喜航天材料及工艺研究所申请的专利一种电弧离子镀设备冷却方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116240503B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310131112.X，技术领域涉及：C23C14/32；该发明授权一种电弧离子镀设备冷却方法及装置是由张晓;王娜;孙彦波;阴中炜;陈道勇设计研发完成，并于2023-02-17向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种电弧离子镀设备冷却方法及装置在说明书摘要公布了：本发明针对铌钨合金发动机，提供了一种电弧离子镀设备冷却方法。通过对真空阴极电弧沉积设备的炉腔中的冷却系统进行改近，解决铌钨合金发动机燃烧室内外表面涂层冷却速度缓慢的问题。采用真空阴极电弧沉积技术在工件表面镀钼完成后，优化冷却系统，使得沉积设备内部真空度维持在动态平衡中，通过增强燃烧室内外表面钼层的对流效果实现降低身部钼层冷却时间的目的。本发明首次实现了在燃烧室的内外表面结束镀钼后进行降温的过程中采用水冷系统与气冷系统相结合的方式，提高了姿轨控发动机的生产效率。

本发明授权一种电弧离子镀设备冷却方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种电弧离子镀设备冷却方法，涂层制备过程通过水冷通道冷却炉壁以及靶材；其特征在于依顺序分别在发动机燃烧室的内、外表面涂层制备结束后，执行如下冷却处理，所述的发动机燃烧室为双组元液体火箭发动机铌钨合金燃烧室： 待发动机燃烧室内外表面涂层制备结束后，在水冷通道开启状态下，冷却至500℃～900℃； 向涂层制备炉内通入保护气体，开启炉内风扇，通过控制通入气体流量与抽出气体量，使得炉内气压保持在1×100～1×10-3范围内波动； 待发动机燃烧室表面温度达到30～60℃时，停止通入保护气体，关闭风扇，完成冷却； 在水冷降温基础上，采用阶梯式气冷方法降温，不同温度范围内，炉内气压保持范围不同，通过阶梯式气冷方法保证工件快速冷却，且对膜层质量影响相对较小；当工件温度处于700-900℃时，将风扇的风速档位调节至低速档位时，调节气体流量使炉内气压在1×10-2～1×10-3范围内波动；当工件温度处于500-700℃时，将风扇的风速档位调节至中速档位时，调节气体流量使炉内气压在1×10-1～1×10-3范围内波动；当工件温度处于500℃以下时，将风扇的风速档位调节至高速档位时，调节气体流量使炉内气压在1×100～1×10-2范围内波动； 所述发动机燃烧室的涂层采用真空阴极电弧沉积技术制备，燃烧室基体材料为铌合金，涂层材料为钼或铱；所述发动机燃烧室的内孔直径4～100mm，外圆直径4～110mm，燃烧室长度5～300mm；涂层厚度不超过300μm。

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