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恭喜浙江大学汪延成获国家专利权

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龙图腾网恭喜浙江大学申请的专利一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN116005251B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202310072251.X,技术领域涉及:C30B15/30;该发明授权一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构是由汪延成;谷子良;梅德庆;项飞鹤;陈宇宏设计研发完成,并于2023-02-07向国家知识产权局提交的专利申请。

一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构在说明书摘要公布了:本发明公开了一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构。外杆和内杆分别由五根直径不同的外杆节和内杆节按照直径从大到小的顺序自上而下依次嵌套组成,第五外杆节和第五内杆节通过联动凸台固定连接,籽晶夹头与第五外杆节的下端面固定连接,第一内杆节和第二内杆节之间、第二内杆节和第三内杆节之间分别通过两个锁止单元连接,第三内杆节和第四内杆节之间通过减速传动组件连接,内杆套筒套设在第四内杆节的顶端,行星轮系与内杆套筒内侧壁固定连接,行星架放置在内杆套筒上,中心扣放置在行星架上。本发明能够有效降低单晶炉整体质心,减少电机振动激励,螺纹传动利于提高提拉速度控制精度,降低晶棒生长界面波动,提升晶棒生长质量。

本发明授权一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构在权利要求书中公布了:1.一种单电机驱动的伸缩式硬轴提拉机构,其特征在于: 包括中空柱状的外杆1、中空柱状的内杆2、籽晶夹头3、减速传动组件4和锁止单元5;内杆2同轴设置在外杆1的内部,籽晶夹头3位于外杆1外部且与外杆1的外底面固定连接,减速传动组件4固定安装在内杆2上,锁止单元5固定连接在内杆2的侧壁上,外杆1外接电机且与外部的单晶炉机架可旋转地活动连接,内杆2与单晶炉机架固定连接; 所述的外杆1主要由五根直径不同的中空柱状的外杆节按照直径从大到小的顺序自上而下依次嵌套组成,所述的五根外杆节自上而下依次为第一外杆节11、第二外杆节12、第三外杆节13、第四外杆节14和第五外杆节15,第一外杆节11为底端开口顶端半封闭的中空柱状结构,第五外杆节15为底端封闭顶端开口的中空柱状结构,上层的外杆节的内径尺寸与下层的外杆节的外径尺寸相吻合,第一外杆节11外接电机且与单晶炉机架可旋转地活动连接; 所述的内杆2主要由五根直径不同的中空柱状的内杆节按照直径从大到小的顺序自上而下依次嵌套组成,所述的五根内杆节自上而下依次为第一内杆节21、第二内杆节22、第三内杆节23、第四内杆节24和第五内杆节25,上层的内杆节的内径尺寸与下层的内杆节的外径尺寸相吻合;内杆2还包括两端开口的炉盖211,炉盖211下端的开口与第一内杆节21上端的开口连通,炉盖211上端的开口与第一外杆节11上端的开口连通,炉盖211与单晶炉机架固定连接; 第五外杆节15的下端面和第五内杆节25的下端面通过联动凸台18固定连接,籽晶夹头3位于第五外杆节15外部且与第五外杆节15的外底面固定连接,第一内杆节21和第二内杆节22之间、第二内杆节22和第三内杆节23之间分别通过两个锁止单元5连接,第三内杆节23和第四内杆节24之间通过减速传动组件4连接; 所述的减速传动组件4包括中空柱状的内杆套筒41、行星轮系42、行星架424和中心扣43;内杆套筒41套设在第四内杆节24的顶端,内杆套筒41的外侧壁上设有外部螺纹,第三内杆节23通过内杆套筒41上的外部螺纹与第四内杆节24连接,行星轮系42放置在第四内杆节24的上端面且与内杆套筒41顶端的内侧壁固定连接,行星架424放置在内杆套筒41上,行星架424的中部设有第二通槽,中心扣43的底端依次穿设过行星架424的第二通槽、柱状凸台241的第一通槽242和第四内杆节24上端面的通孔后位于第四内杆节24的内部,中心扣43的顶端位于行星架424上方; 所述的行星轮系42包括中心轮421、三个行星轮422、齿圈423,直径较小的中心轮421同轴放置在第四内杆节24上端面的内周,直径较大的齿圈423同轴放置在第四内杆节24上端面的外周且与内杆套筒41顶端的内侧壁固定连接,三个行星轮422间隔排布地设置在中心轮421与齿圈423之间,行星架424包括中间的三角架、滑杆425、圆柱台和月牙形下扣齿426,三根滑杆425分别固定连接在三角架的三个角上,行星架424的下表面中三角架和滑杆425连接交界处设有圆柱台,且圆柱台位于行星轮422的中部,三角架的中部设有第二通槽且三角架的上表面设有若干个月牙形下扣齿426,中心扣43为工字形柱状结构,中心扣43包括圆盘、月牙形上扣齿431、柱状块和凸起方块432,柱状块的上部设有两个圆盘,两个圆盘之间通过弹簧连接,位于下方的圆盘的下表面设有若干个月牙形上扣齿431,柱状块中部的外侧面设有三个凸起方块432,圆盘位于三角架的上方,凸起方块432依次穿设过三角架的第二通槽、柱状凸台241中第一通槽242的顶部后与柱状凸台241的下部接触,柱状块的下端依次穿设过三角架的的第二通槽、柱状凸台241的第一通槽242和第四内杆节24上端面的通孔后位于第四内杆节24的内部; 所述的锁止单元5包括锁止滑块51和锁止扣环52;锁止滑块51和锁止扣环52固定连接,锁止滑块51设置在扣块槽27中,锁止扣环52连接于扣锁28的扣锁槽中。

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