恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司余仲获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司申请的专利热丝系统以及卧式HWCVD设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116288258B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310102678.X，技术领域涉及：C23C16/448；该发明授权热丝系统以及卧式HWCVD设备是由余仲;程培勇;张海涛;杨福满;赵步举;刘顺;谭晓华设计研发完成，并于2023-02-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本热丝系统以及卧式HWCVD设备在说明书摘要公布了：本发明公开了热丝系统以及卧式HWCVD设备。该热丝系统被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置。本发明的热丝系统能够保持镀膜工艺的稳定性并且提高系统使用的稳定性。
本发明授权热丝系统以及卧式HWCVD设备在权利要求书中公布了：1.热丝系统，被使用在卧式HWCVD设备中，其中，所述卧式HWCVD设备具有镀膜腔，所述镀膜腔内容置有用于载置衬底的载板，所述载板水平地被支撑并沿第一方向运行，其特征在于，所述热丝系统配置在所述镀膜腔的竖直方向的上部并沿所述第一方向以及与所述第一方向正交的第二方向延伸，所述热丝系统包括多个热丝馈入单元，多个所述热丝馈入单元分别沿所述第一方向以及所述第二方向配置； 所述热丝馈入单元包括两个紧固件以及热丝，两个所述紧固件分别被安装到所述卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部； 所述热丝具有中间部和分别位于中间部的长度方向的两端的两个连接端部，两个所述连接端部分别相对于所述中间部被弯折； 所述紧固件具有热丝安装部，所述热丝安装部被设置为：在所述紧固件被安装到所述卧式HWCVD设备的镀膜腔的竖直方向的上部的情况下，位于所述紧固件的竖直方向的下端； 两个所述连接端部分别被紧固到所述热丝安装部。
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