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龙图腾网恭喜宁波恒普真空科技股份有限公司申请的专利用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116005255B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310018351.4，技术领域涉及：C30B25/10；该发明授权用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置是由刘鹏;徐文立;沈磊设计研发完成，并于2023-01-06向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置在说明书摘要公布了：本发明公开了用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置，通过在热场外周设置由内、外保温筒叠套组成的组合式保温筒结构，可包裹与热场中所有发热体相连的所有石墨电极的周边区域，内保温筒可遮挡每个石墨电极的轴向延伸大部分区域，减少石墨电极的受热面积，进而减少热场热量向四周流失；外保温筒可进一步阻隔热场的横向热量传递，减少热场热量通过反应室的金属腔壁向立式成膜装置外部传导流失。同时，通过在热场顶部安装圆环形保温盖，可避免热场热量向上散出，石墨电极与金属电极的连接处的顶部通过圆环形保温盖的外缘遮挡，能够有效避免石墨电极与金属电极连接处的热量散失。本发明能够有效降低石墨电极对热场升温以及温度分布的影响。

本发明授权用于成膜装置的热场保温组件及立式成膜装置在权利要求书中公布了：1.一种用于成膜装置的热场保温组件，其特征在于，包括圆环形保温盖8、用于套设在成膜装置反应室的热场3外周的内保温筒11和套设于所述内保温筒11外的外保温筒17，其中：所述外保温筒17的内壁开设有多个沿其周向分布的第一电极安装槽，任意一所述第一电极安装槽的顶端均延伸至所述外保温筒17的顶端，且所述外保温筒17的顶端开设有与所述第一电极安装槽连通的电极出口23；不同所述第一电极安装槽的底端分别对应所述热场3中不同高度的环形发热体设置，且任意一所述第一电极安装槽的底端均设置有台阶，所述台阶与相应高度的所述环形发热体的连接石墨电极9的位置相对应； 所述内保温筒11的外壁设置有多个与所述第一电极安装槽一一对应设置的第二电极安装槽，且所述第二电极安装槽与对应的所述第一电极安装槽对接形成石墨电极通道27，任意一所述第二电极安装槽的顶端均能够遮挡对应所述第一电极安装槽上的所述电极出口23；不同所述第二电极安装槽的底端分别延伸至对应所述第一电极安装槽的所述台阶处，且每个所述第二电极安装槽的底端均高于对应位置的所述台阶，以在每个所述第二电极安装槽的底端与对应位置的所述台阶之间形成与所述石墨电极通道27连通的电极进口22；所述石墨电极通道27内用于安装石墨电极9，且所述石墨电极9的一端穿过所述电极进口22与对应高度的所述环形发热体相连，另一端穿过所述电极出口23与金属电极26相连； 所述圆环形保温盖8设置于所述内保温筒11的顶部，并与所述内保温筒11同轴布置；所述圆环形保温盖8的内圈直径小于所述内保温筒11的内壁直径，以通过所述圆环形保温盖8的内圈遮挡所述热场3顶部，所述圆环形保温盖8的外圈直径大于所述外保温筒17的外壁直径，以通过所述圆环形保温盖8的外圈遮挡所述电极出口23。

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