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龙图腾网恭喜宁波恒普真空科技股份有限公司申请的专利一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116103753B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211670502.6，技术领域涉及：C30B25/10；该发明授权一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备是由刘鹏;徐文立;高炀;沈磊设计研发完成，并于2022-12-26向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备在说明书摘要公布了：本发明公开一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备，涉及半导体生产设备技术领域，主要结构包括进气室、反应室、套筒流道、搬运系统、基座、旋转室和旋转轴；旋转轴为中空轴，旋转轴内同轴的设置有一多通道功能轴；提升杆贯穿多通道功能轴；多通道功能轴伸入基座内的一端设置有多个开孔。本发明中的具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备，在基座内设置进气管，通入保护气体使基座内外分离，相较覆盖件遮挡更为全面有效。保持基座内保护气体向外溢出，减少外部反应气体进入基座内部，从而降低基座内发热体受到外部气体影响并延长使用寿命，同时保证成膜过程中热场的稳定性，降低更换频率可提高生产效率。

本发明授权一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备在权利要求书中公布了：1.一种具有可伸入腔体的多通道功能轴的立式成膜设备，其特征在于，包括进气室、反应室、套筒流道、搬运系统、基座、旋转室和旋转轴；所述进气室设置于所述反应室顶部，且所述进气室与所述反应室相连通；所述反应室内设置有套筒，所述套筒内侧设置有基座，所述基座顶部用于支撑晶片；所述反应室外一侧设置有所述搬运系统，所述搬运系统用于将所述基座顶部的晶片取出；所述反应室下方设置有所述旋转室，所述旋转轴设置于所述旋转室内，且所述旋转轴的顶部伸入所述反应室内与所述基座相连接；所述旋转轴用于驱动所述基座旋转；所述基座内设置有推杆座，所述推杆座底部与一提升杆的顶部相连接，所述提升杆的底部与驱动机构相连接，所述推杆座顶部且位于所述晶片下方等高度的同轴心的设置有内圈发热体和外圈加热体；所述旋转轴为中空轴，所述旋转轴内同轴的设置有一多通道功能轴；所述提升杆贯穿所述多通道功能轴；所述多通道功能轴伸入所述基座内的一端设置有多个开孔； 所述多个开孔包括所述多通道功能轴的轴心处设置的提升杆开孔，所述提升杆与所述提升杆开孔之间设置有套管，所述提升杆与所述提升杆开孔之间位于所述套管下方设置有至少一个橡胶圈；所述套管用于对所述提升杆的导向并防止杂质进入所述提升杆开孔； 所述多个开孔包括偏离所述多通道功能轴的轴心处设置的电极开孔，所述电极开孔内设置有导电体，所述导电体用于连接将电源与所述内圈发热体和所述外圈加热体连接； 所述多个开孔包括偏离所述多通道功能轴的轴心处设置的进气开孔，所述进气开孔内设置有一进气管，所述进气管的底部与气源相连接，所述气源通过所述进气管向所述基座内通入保护气； 所述进气开孔包括沿所述多通道功能轴的轴线的进气轴向孔以及沿所述多通道功能轴的径向的进气径向槽，所述进气轴向孔与所述进气径向槽的一端相连通，所述进气管的顶端设置有限位块，所述限位块设置于所述进气径向槽内。

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