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龙图腾网恭喜深圳市森东宝科技有限公司申请的专利一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116031171B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211639756.1，技术领域涉及：H01L21/66；该发明授权一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质是由肖体春;张作霖;刘名臣;张明燕设计研发完成，并于2022-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质在说明书摘要公布了：本申请涉及晶圆芯粒检测的技术领域，尤其涉及一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质，该方法包括：获取待检测晶圆的待检测晶圆图像和待检测晶圆的尺寸信息；基于待检测晶圆图像确定待检测晶圆上的所有芯粒各自对应的芯粒位置信息，并基于所有芯粒位置信息确定芯粒总量信息、相邻芯粒之间的距离信息、起始行的芯粒数量、末尾行的芯粒数量、起始列的芯粒数量和末尾列的芯粒数量；基于起始行的芯粒数量、末尾行的芯粒数量、起始列的芯粒数量和末尾列的芯粒数量确定排布方式；根据距离信息和排布方式,确定检测方式；并根据待检测晶圆的尺寸信息和芯粒的总量信息确定探针数量。本申请提高了晶圆芯粒的检测效率。

本发明授权一种晶圆芯粒检测方法、装置、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种晶圆芯粒检测方法，其特征在于，包括： 获取待检测晶圆的待检测晶圆图像和待检测晶圆的尺寸信息，其中，所述待检测晶圆包括多个芯粒； 基于所述待检测晶圆图像确定待检测晶圆上的所有芯粒各自对应的芯粒位置信息，并基于所有芯粒位置信息确定芯粒总量信息、相邻芯粒之间的距离信息、起始行的芯粒数量、末尾行的芯粒数量、起始列的芯粒数量和末尾列的芯粒数量； 基于所述起始行的芯粒数量、末尾行的芯粒数量、起始列的芯粒数量和末尾列的芯粒数量确定排布方式； 根据距离信息和排布方式,确定检测方式；并根据所述待检测晶圆的尺寸信息和芯粒的总量信息确定探针数量； 根据所述检测方式和所述探针数量对所述待检测晶圆进行检测，得到检测结果； 所述基于所述起始行的芯粒数量、末尾行的芯粒数量、起始列的芯粒数量和末尾列的芯粒数量确定排布方式，包括： 判断所述起始行的芯粒数量和所述末尾行的芯粒数量是否相同，并判断起始列的芯粒数量和所述末尾列的芯粒数量是否相同； 若所述起始行的芯粒数量和所述末尾行的芯粒数量相同，且起始列的芯粒数量和所述末尾列的芯粒数量相同，则确定所述排布方式为正矩形排布； 否则，则确定所述排布方式为不规则排布； 所述根据所述待检测晶圆的尺寸信息和芯粒的总量信息确定探针数量，包括： 判断所述待检测晶圆的尺寸信息是否小于预设晶圆最大尺寸阈值，并判断所述芯粒的总量信息是否小于预设芯粒最大数量阈值； 若所述待检测晶圆的尺寸信息小于预设晶圆最大尺寸阈值，或，所述芯粒的总量信息小于预设芯粒最大数量阈值，则确定探针数量为单针； 否则，则确定探针数量为多针。

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