恭喜重庆中科渝芯电子有限公司邓建国获国家专利权
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龙图腾网恭喜重庆中科渝芯电子有限公司申请的专利一种半导体晶圆手动贴膜装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115783386B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211601718.7,技术领域涉及:B65B33/02;该发明授权一种半导体晶圆手动贴膜装置是由邓建国;刘登华;徐俊;吴疆;廖文浩;蒋金俊;许小军;李文设计研发完成,并于2022-12-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体晶圆手动贴膜装置在说明书摘要公布了:本发明公开一种半导体晶圆手动贴膜装置,包括背膜回卷传动大皮带轮1、背膜回卷驱动小皮带轮2、物料旋转阻尼大皮带轮4、皮带5、物料旋转阻尼小皮带轮6、物料夹持转轴7、至少两块物料架侧板8、前导压膜轴9、旋转阻尼器10、物料架侧板连杆11、前导胶辊12、分膜驱动胶辊13、背膜胶辊14、后导胶辊15、晶圆吸附平台16、移动压膜支撑架17、后压膜胶辊18、吸盘平台底座19、真空控制管路20、前压膜胶辊23、背膜夹持转轴24;本发明解决了手动贴膜工艺过程单人操作不易分开胶膜、背膜,和压膜贴附的问题。
本发明授权一种半导体晶圆手动贴膜装置在权利要求书中公布了:1.一种半导体晶圆手动贴膜装置,其特征在于:包括背膜回卷传动大皮带轮1、背膜回卷驱动小皮带轮2、物料旋转阻尼大皮带轮4、皮带5、物料旋转阻尼小皮带轮6、物料夹持转轴7、至少两块物料架侧板8、前导压膜轴9、旋转阻尼器10、物料架侧板连杆11、前导胶辊12、分膜驱动胶辊13、背膜胶辊14、后导胶辊15、晶圆吸附平台16、移动压膜支撑架17、后压膜胶辊18、吸盘平台底座19、真空控制管路20、前压膜胶辊23、背膜夹持转轴24; 所述物料架侧板8和晶圆吸附平台16固定在吸盘平台底座19上; 所述晶圆吸附平台16用于放置待贴膜的晶圆26; 所述物料架侧板连杆11的两端分别连接不同物料架侧板8,从而组成物料支撑架; 所述前导压膜轴9、前导胶辊12、分膜驱动胶辊13、背膜胶辊14、后导胶辊15的两端分别连接不同物料架侧板8; 所述后压膜胶辊18、前压膜胶辊23安装在移动压膜支撑架17上; 所述移动压膜支撑架17与晶圆吸附平台16活动连接,在晶圆吸附平台16两侧的滑槽内可移动; 所述旋转阻尼器10安装在物料架侧板8上,并通过物料旋转阻尼小皮带轮6、皮带5、物料旋转阻尼大皮带轮4与物料夹持转轴7活动连接; 所述物料夹持转轴7用于放置待使用的带胶粘膜25; 所述背膜回卷驱动小皮带轮2安装在分膜驱动胶辊13轴端,通过皮带5与背膜回卷传动大皮带轮1活动连接; 所述背膜回卷传动大皮带轮1安装在背膜夹持转轴24上; 所述真空控制管路20与晶圆吸附平台16底部的吸附接口连接,并且一端连接在晶圆吸附平台16底部的真空接口。
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