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龙图腾网恭喜吉林大学申请的专利一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的1×3热光开关及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115877595B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211578519.9，技术领域涉及：G02F1/01；该发明授权一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的1×3热光开关及其制备方法是由曾国宴;尹悦鑫;丁颖智;吕昕雨;廖诗雨;程派;张大明设计研发完成，并于2022-12-09向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的1×3热光开关及其制备方法在说明书摘要公布了：一种基于二氧化硅聚合物混合波导的1×3热光开关及其制备方法，属于二氧化硅聚合物混合波导光集成芯片制备技术领域。由Si衬底、SiO2下包层、聚合物芯层、聚合物上包层和金属电极组成，聚合物芯层被包覆于聚合物上包层之中。沿光的传输方向，聚合物芯层主要由输入直波导、1×3的多模干涉器、移相器、第一～第三调制臂波导、3×3的多模干涉器、第一～第三输出直波导组成；第一～第三调制臂波导相互平行，在第一～第三调制臂波导上设置有相互平行的第一～第三金属电极。当对第一～第三金属电极的任一电极施加调制电压时，信号光从第一～第三输出直波导的任一波导输出，从而通过对金属电极的调制实现了三个通道的开关功能。

本发明授权一种基于二氧化硅/聚合物混合波导的1×3热光开关及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种基于聚合物二氧化硅混合波导的1×3热光开关，其特征在于：从下至上由Si衬底（1）、SiO2下包层（2）、聚合物芯层（3）、聚合物上包层（4）和金属电极（5）组成；聚合物芯层（3）和聚合物上包层（4）位于SiO2下包层（2）之上，且聚合物芯层（3）被包覆于聚合物上包层（4）之中；沿光的传输方向，聚合物芯层（3）由输入直波导（101）、1×3的多模干涉器（300）、第一输入S弯曲波导（102）、第二输入S弯曲波导（102’）、中间输入直波导（103）、第一移相器（104）、第二移相器（104’）、第一调制臂波导（105）、第二调制臂波导（106）、第三调制臂波导（107）、第一输出S弯曲波导（108）、第二输出S弯曲波导（108’）、中间输出直波导（109）、3×3的多模干涉器（400）、第一输出直波导（110）、第二输出直波导（111）和第三输出直波导（112）所组成；其中，第一调制臂波导（105）、第二调制臂波导（106）和第三调制臂波导（107）相互平行，在第一调制臂波导（105）、第二调制臂波导（106）和第三调制臂波导（107）所在位置的聚合物上包层（4）之上设置有相互平行的第一金属电极（201）、第二金属电极（202）和第三金属电极（203），共同构成金属电极（5）； 其中，1×3的多模干涉器（300）由一个第一输入Taper波导（310）、一个第一多模干涉区（320）和3个第一输出Taper波导（330）组成，第一输入Taper波导（310）与第一输出Taper波导（330）结构相同、对称设置在个第一多模干涉区（320）的输入端和输出端，均由两个正弦形状的Taper波导和一个矩形形状的3段Taper波导级联而成（311、312和313，331、332和333）；光纤中的传输的信号光耦合进入到输入直波导（101），再输入到第一输入Taper波导（310）中，传输到多模干涉区（320）中发生自映像效应；当信号光在多模干涉区（320）中的传输长度时，会第一次产生三重像，其中是波导的有效折射率，是多模干涉器有效宽度，是信号光的波长；信号光从第一次产生三重像的位置生成三束光强相同的光后分别输出到3个输出Taper波导（330），再经第一输入S弯曲波导（102）、中间输入直波导（103）和第二输入S弯曲波导（102’）分别传输到第一调制臂波导（105）、第二调制臂波导（106）、第三调制臂波导（107）中； 3×3的多模干涉器（400）由3个第二输入Taper波导（410）、一个第二多模干涉区（420）和3个第二输出Taper波导（430）组成，第二输入Taper波导（410）与第二输出Taper波导（430）结构相同、对称设置在第二多模干涉区（420）的输入端和输出端，均由两个正弦形状的Taper波导和一个矩形形状的3段Taper波导级联而成（411、412和413，431、432和433）；经过第一调制臂波导（105）、第二调制臂波导（106）和第三调制臂波导（107）的信号光，分别通过第一输出S弯曲波导（108）、中间输出直波导（109）、第二输出S弯曲波导（108’）和第二输入Taper波导（410）的输入通道A、输入通道B和输入通道C，将信号光传输到多模干涉区（420）中发生自映像效应；当信号光在多模干涉区中的传输长度时，会第一次产生三重像，其中是波导的有效折射率，是多模干涉器有效宽度，是信号光的波长；信号光从每个输入光第一次产生三重像的位置生成三束光强相同的光后分别输出到3个输出Taper波导（430）中，再分别通过第一输出直波导（110）、第二输出直波导（111）和第三输出直波导（112）输出； 当对第一金属电极（201）、第二金属电极（202）或第三金属电极（203）施加调制电压时，信号光的相位发生变化，信号光从第一输出直波导（110）、第二输出直波导（111）或第三输出直波导（112）输出，从而通过对金属电极（5）的调制实现了三个通道的开关功能。

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