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龙图腾网恭喜北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115741760B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211548870.3，技术领域涉及：B25J15/06；该发明授权交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法是由刘颖;关宏武;王浩楠;郎平;孙杨;赵东雷;林继柱设计研发完成，并于2022-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。

本交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法在说明书摘要公布了：本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，交换版机械手的调整方法包括：逐一调整所述吸取部的水平度；调整多个所述吸取部之间的相对位置；将所述旋转组件调整至初始位置。根据本申请提供的交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法，通过调整每个吸取部的水平度、调整多个吸取部之间的相对位置并调整旋转组件至初始位置，有效地提高了交换版机械手在使用前的吸取部的初始位置的参数的精度，进而避免了在交换版机械手拾取掩模版在工位之间传递的过程中，交换版机械手损伤掩模版的现象发生。

本发明授权交换版机械手的调整方法及交换版机械手的使用方法在权利要求书中公布了：1.一种交换版机械手的调整方法，其特征在于， 所述交换版机械手包括旋转组件、安置部和多个吸取部，每个所述吸取部包括连接平面和多个吸盘，多个所述吸盘均设置于所述连接平面上； 所述安置部包括沿第一方向贯通所述安置部的安置孔，所述旋转组件沿所述第一方向贯穿所述安置孔，多个所述吸取部均设置于所述旋转组件的一端； 所述交换版机械手的调整方法包括以下步骤： 逐一调整所述吸取部的水平度，将具有水平仪的调平工装与所述连接平面贴合，通过所述水平仪的读数，调整所述连接平面的水平度，使得所述连接平面的水平度达到预定水平度范围； 调整多个所述吸取部之间的相对位置，在每个所述连接平面设置中心标记孔组，将调位工装分别与多个所述吸取部的所述中心标记孔组连接； 将所述旋转组件调整至初始位置，在所述旋转组件的所述吸取部所在的端面设置第一初始定位部，在所述安置部的所述吸取部所在侧面设置第二初始定位部，使得调零工装分别与所述第一初始定位部和所述第二初始定位部连接； 所述调平工装包括贴合凸部，所述贴合凸部包括贴合表面，所述调平工装经由所述贴合表面与所述连接平面贴合；所述水平仪平行于所述贴合表面设置； 所述调平工装还包括： 连接部，设置于所述贴合表面，所述连接部与所述中心标记孔组相适配，且相对于所述贴合表面凸出； 标记平台，平行于所述贴合表面设置，所述贴合凸部和所述水平仪均设置于所述标记平台； 所述预定水平度包括X向水平度和Y向水平度，所述水平仪的数量为两个，两个所述水平仪中的第一者沿第二方向延伸，所述第一者则为用于检测所述Y向水平度的Y向水平仪；两个水平仪中的第二者沿第三方向延伸，所述第二者则为用于检测所述X向水平度的X向水平仪； 所述中心标记孔组包括多个沿所述第一方向延伸的定位孔，多个所述定位孔设置于同一个定位圆上，所述定位圆的圆心为所述连接平面的中心点； 所述调位工装包括连接板部和多个限位部，所述限位部的数量与所述吸取部的数量相等，多个所述限位部按照多个所述吸取部的预设的相对位置分布于所述连接板部的同一侧； 每一所述限位部均能够与所述中心标记孔组配合，当使用所述调位工装时，多个所述限位部分别与所述吸取部的中心标记孔组一一对应； 所述连接板部包括连杆和连接平台，所述连杆的数量和所述连接平台的数量均等于所述限位部的数量，多个所述连杆的第一端连接于同一处，所述连杆的第二端与所述连接平台连接； 所述限位部一一对应地设置于所述连接平台的同一侧，以使得多个所述限位部共面。

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