恭喜深圳国微福芯技术有限公司杜杳隽获国家专利权
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龙图腾网恭喜深圳国微福芯技术有限公司申请的专利散射条的添加方法、存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115576169B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211387164.5,技术领域涉及:G03F1/36;该发明授权散射条的添加方法、存储介质是由杜杳隽;黄晔;陈红设计研发完成,并于2022-11-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本散射条的添加方法、存储介质在说明书摘要公布了:本发明公开了一种散射条的添加方法、存储介质。其中散射条的添加方法,包括:根据版图上的图形的特点,将版图分为多个区域;将符合条件的区域分隔成多个相邻的方形切片;运用模式匹配算法将切片归类为几何环境各不相同的切片;运用ILT获取散射条的种子;判断散射条的种子附近是否有主图形的边,若有,在光罩设计规则的约束下,使种子沿着最近的主图形的边方向在长度方向上生长到预设长度,形成散射条骨架,并使得所述散射条骨架在宽度方向上生长到预设宽度;若没有,则在光罩设计规则的约束下,生成方形的散射条;运用模式匹配算法将各切片上生成的散射条贴回至版图上相应位置。本发明可以适应不同的版图,同时计算量比单一的ILT要少。
本发明授权散射条的添加方法、存储介质在权利要求书中公布了:1.一种散射条的添加方法,其特征在于,包括: 根据版图上的图形的特点,将版图分为多个区域,所述版图的多个区域包含1D、1.5D、2D当中的至少一种区域; 当区域为1D或1.5D时,采用散射条规则表来生成对应区域的散射条; 当区域为2D时,将符合条件的区域分割成多个相邻的方形切片; 以主图形为参考图形,运用模式匹配算法将切片归类为几何环境各不相同的切片; 运用ILT获取散射条的种子; 判断散射条的种子附近是否有主图形的边,若有,在光罩设计规则的约束下,使种子沿着最近的主图形的边方向在长度方向上生长到预设长度,形成散射条骨架,并使得所述散射条骨架在宽度方向上生长到预设宽度;若没有,则在光罩设计规则的约束下,生成方形的散射条; 以主图形为参考图形,运用模式匹配算法将各切片上生成的散射条贴回至版图上相应位置。
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