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龙图腾网恭喜中国科学院光电技术研究所申请的专利一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115657425B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211346045.5，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法是由李天;全海洋;刘俊伯;朱咸昌;王建;胡松;杜婧;周吉设计研发完成，并于2022-10-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法，该装置包括照明系统、掩模、掩模台、温度与压强传感器、光刻物镜、夏克‑哈特曼传感器、传感器运动台、干涉仪和环境控制系统。沿所述照明系统激光照明方向依次是安装在掩模台上的掩模、带有温度与压强传感器的光刻物镜、检测波前信号的夏克‑哈特曼传感器、传感器运动台和干涉仪组成的测量系统和环境控制系统。安装在传感器运动台上的夏克‑哈特曼传感器对准测试波前后，由干涉仪返回理想球面波经掩模11×11个方孔和光刻物镜后测试波前的三维坐标，得到测试波前的坐标信息，通过坐标转换分离出调整误差引起的畸变，将分离了调整误差的数据添加进计算模型得到光刻物镜实际的畸变。

本发明授权一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种光刻物镜畸变检测调整误差分离方法，利用一种光刻物镜畸变检测调整误差分离装置，其特征在于：该装置包括照明系统（1）、掩模（2）、掩模台（3）、温度与压强传感器（4）、光刻物镜（5）、夏克-哈特曼传感器（6）、传感器运动台（7）、干涉仪（8）和环境控制系统（9），其中，照明系统（1）位于装置正上方提供激光照明，带有图形的掩模（2）、承载掩模（2）的掩模台（3）、光刻物镜（5）、负责扫描运动的传感器运动台（7）处于同一垂轴线上但相互平行，温度与压强传感器（4）置于光刻物镜（5）内部监测温度与压强，照明系统（1）、掩模（2）、掩模台（3）、温度与压强传感器（4）、光刻物镜（5）、夏克-哈特曼传感器（6）、传感器运动台（7）、干涉仪（8）皆处于环境控制系统（9）中，夏克-哈特曼传感器（6）安装在传感器运动台（7）上用于对准，干涉仪（8）安装在传感器运动台（7）上检测位置坐标信息；该方法包括如下步骤： 步骤1：在环境控制系统（9）使得整个测试环境处于一个温度、压强、湿度和气流保持恒定的密闭环境内，照明系统（1）产生激光通过安装在掩模台（3）上的掩模（2）11×11个方孔产生理想球面波，经过光刻物镜（5）后被传感器运动台（7）上的夏克-哈特曼传感器（6）测试波前信息，干涉仪（8）返回波前信息的三维坐标； 步骤2：由于掩模（2）倾斜、传感器运动台（7）倾斜和光刻物镜（5）本身的面形导致实际测试的像面和理想像面不一致，因此调整误差会引起畸变测量不准确，将测试波前信息的坐标转换后就可得到倾斜的角度； 步骤3：传感器运动台（7）带动夏克-哈特曼传感器（6）移动测试11×11个视场点并通过干涉仪（8）记录视场点坐标和波像差信息； 步骤4：将由调整误差引起的实际波前坐标误差分离出来，并对数据进行噪声滤除以及粗大误差处理； 步骤5：通过采集到的11×11个视场点分离了调整误差的数据，将坐标数据构建成超定方程组添加进畸变计算模型，使用最小二乘算法拟合就可得到分离了调整误差引起的畸变后光刻物镜实际的畸变。

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