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龙图腾网恭喜中国科学院光电技术研究所申请的专利紫外发光二极管曝光装置及系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115469515B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211332385.2，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权紫外发光二极管曝光装置及系统是由罗先刚;赵承伟;龚天诚;贾桂园;王长涛;王彦钦设计研发完成，并于2022-10-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本紫外发光二极管曝光装置及系统在说明书摘要公布了：本公开提供一种紫外发光二极管曝光装置及系统，涉及曝光处理技术领域，装置包括：紫外发光二极管光源，包括阵列贴片式的紫外发光二极管灯珠，紫外发光二极管灯珠用于发射紫外光束；准直镜组，用于对紫外光束进行收光准直；复眼镜组，用于对收光准直后的紫外光束进行匀光；聚光镜组，用于对匀光后的紫外光束进行聚光；曝光面，用于利用聚光后的紫外光束进行曝光的工作面；控制模块，用于通过高频开关模式，独立控制每个紫外发光二极管灯珠的开关。该紫外发光二极管曝光装置及系统有效地提高了光源输出功率的稳定性及能量的利用率，减少了发热和提高散热效果，实现了紫外光束的高效准直，并且，满足设备框架和其他部件空间限制要求。

本发明授权紫外发光二极管曝光装置及系统在权利要求书中公布了：1.一种紫外发光二极管曝光装置，其特征在于，包括： 紫外发光二极管光源，包括阵列贴片式的紫外发光二极管灯珠，所述紫外发光二极管灯珠用于发射紫外光束； 准直镜组，用于对所述紫外光束进行收光准直； 复眼镜组，用于对收光准直后的紫外光束进行匀光； 聚光镜组，用于对匀光后的紫外光束进行聚光； 曝光面，用于利用聚光后的紫外光束进行曝光的工作面； 控制模块，用于通过高频开关模式，独立控制每个所述紫外发光二极管灯珠的开关；高频开关模式使紫外发光二极管灯珠状态长时间处于启动光源那一刻； 液体光纤，用于将所述紫外发光二极管光源发射的紫外光束引入所述准直镜组； 所述聚光镜组将所述复眼镜组到所述曝光面的光距分割为聚光工作距和曝光工作距，所述聚光镜组被配置为通过调节所述聚光镜组的曲率半径来调整所述聚光工作距和所述曝光工作距； 所述控制模块包括控制器和控制系统，其中：所述控制器配置有与每个紫外发光二极管灯珠对应的独立芯片，通过寻址的方式对每个紫外发光二极管灯珠进行独立控制；低功率需求时，能关闭部分紫外发光二极管灯珠； 所述控制系统用于通过软件界面发送控制指令至所述控制器以控制紫外发光二极管灯珠的开关和采集所述紫外发光二极管灯珠的工作参数。

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