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龙图腾网恭喜显示器生产服务株式会社申请的专利处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115985804B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211022627.8，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置是由朴庸硕;朴镐胤;姜辰求设计研发完成，并于2022-08-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置在说明书摘要公布了：本发明提供一种处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置，该处理液罐具有过滤器部，简化供给配管的结构并使供给配管和配管连接部最小化，可以提高设备的可靠性和容易地执行针对泄漏引发问题的安全管理。为此，本发明公开的处理液罐储存用于处理衬底的处理液，包括：罐主体，隔着第一分离带划分为上侧储存部和下侧储存部；过滤器部，设置在罐主体的内部，过滤处理液中包含的异物，过滤器部包括：过滤器主体，设置在第一分离带，其上侧流入部配置在上侧储存部供处理液流入，其下侧排出部配置在下侧储存部供过滤后的处理液排出；过滤器壳体，设置在上侧储存部，覆盖上侧流入部的上部，上侧储存部的处理液流入内部，使上侧流入部浸没在处理液中。

本发明授权处理液罐和包括该处理液罐的衬底处理装置在权利要求书中公布了：1.一种处理液罐，储存用于处理衬底的处理液，其特征在于，包括： 罐主体，其内部空间隔着第一分离带划分为上侧储存部和下侧储存部；以及 过滤器部，设置在所述罐主体的内部空间中，过滤利用从外部供给的输送压力从所述上侧储存部输送到所述下侧储存部的处理液中包含的异物， 所述过滤器部从连接有处理液供给部的供给配管的所述下侧储存部的一侧面朝向另一侧面以所设定的间隔分离设置有多个， 每个过滤器部包括： 过滤器主体，设置在所述第一分离带处，其上侧流入部配置在所述上侧储存部处供处理液流入，其下侧排出部配置在所述下侧储存部处供过滤后的处理液排出；以及 过滤器壳体，设置在所述上侧储存部处，并设置成覆盖所述上侧流入部的上部，下端部与所述第一分离带上侧分离配置，在与所述上侧流入部的表面之间形成与所述上侧储存部连通的流路，利用从外部供给的输送压力将从所述上侧储存部输送到所述下侧储存部的处理液流入到内部并填充到所述流路中，与储存在所述上侧储存部中的处理液的液位无关地使所述上侧流入部浸没在处理液中， 所述下侧储存部包括从连接有处理液供给部的供给配管的一侧面朝向另一侧面向上部方向倾斜的底面，并且形成为横截面积从一侧面朝向另一侧面逐渐减小，使得通过所述多个过滤器部的处理液的输送压力变得均匀。

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