恭喜华海清科股份有限公司李长坤获国家专利权
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龙图腾网恭喜华海清科股份有限公司申请的专利一种晶圆清洗方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115295450B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210972270.3，技术领域涉及：H01L21/67；该发明授权一种晶圆清洗方法是由李长坤;曹自立;刘洪旺;孙传恽;路新春设计研发完成，并于2022-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆清洗方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种晶圆清洗方法，其包括：S1，将晶圆放置于槽体内的滚轮组件，滚轮组件竖向支撑待清洗的晶圆；S2，槽体内的清洗刷通水并朝向晶圆移动至清洗位置，清洗刷滚动以接触的方式清洗晶圆表面；S3，完成刷洗的清洗刷远离晶圆，槽体内的清洁件朝向滚轮组件喷射流体，以冲洗滚轮组件积聚的颗粒物。
本发明授权一种晶圆清洗方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆清洗方法，其特征在于，包括： S1，将晶圆放置于槽体内的滚轮组件，滚轮组件竖向支撑待清洗的晶圆； S2，槽体内的清洗刷通水并朝向晶圆移动至清洗位置，清洗刷滚动以接触的方式清洗晶圆表面； S3，完成刷洗的清洗刷远离晶圆，槽体内的清洁件朝向滚轮组件喷射流体，以冲洗滚轮组件积聚的颗粒物； 步骤S3中，所述清洁件的喷射方向与待清洗晶圆的旋转方向相匹配且远离晶圆所在区域；所述清洁件朝向垫圈的外周面喷射流体；所述清洁件朝向滚轮组件的中心以下区域喷射流体，喷射的流体至少部分覆盖滚轮组件与晶圆外沿的接触处对应的外周面；槽体内的冲洗件相互交错地朝向晶圆边缘区域喷射流体，以将晶圆边缘区域的颗粒物由内向外移除。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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