恭喜惠然科技有限公司信文平获国家专利权
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龙图腾网恭喜惠然科技有限公司申请的专利电子发射装置、电子探测装置及其组合体获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115083868B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210713908.1,技术领域涉及:H01J37/065;该发明授权电子发射装置、电子探测装置及其组合体是由信文平;崔战伟;刘钧设计研发完成,并于2022-06-22向国家知识产权局提交的专利申请。
本电子发射装置、电子探测装置及其组合体在说明书摘要公布了:本发明公开了一种电子发射装置、一种电子探测装置及其组合体。电子发射装置包括绝缘基体和金属面,金属面覆盖绝缘基体的一侧,金属面的一侧构造出若干灯丝,若干灯丝间隔排布且延伸方向相互平行。电子探测装置包括若干隔离层、若干PN结、若干电子接收层、若干导电柱和若干引出层。本发明提供的电子发射装置与电子探测装置为多电子发射源发射、多探测点接收的形式,能够实现样品图像的阵列化采集,提高采样通量和探测效率。电子发射装置与电子探测装置的组合体能够实现发射‑探测一体化,这种一体化装置所占真空腔室的体积大大减小,有利于推动扫描电子显微镜的小型化、便携化,即为便携式的扫描电子显微镜的实现创造了条件。
本发明授权电子发射装置、电子探测装置及其组合体在权利要求书中公布了:1.一种电子发射装置与电子探测装置的组合体,其特征在于,包括: 电子发射装置,包括绝缘基体和金属面,所述金属面覆盖所述绝缘基体的一侧,所述金属面的一侧构造出若干灯丝,若干所述灯丝间隔排布且延伸方向相互平行; 电子探测装置,包括若干隔离层、若干PN结、若干电子接收层、若干导电柱和若干引出层; 所述若干隔离层沿其厚度方向呈阶梯状叠置以形成与所述厚度方向相互垂直的若干台阶面,若干所述引出层一一对应地覆盖在若干所述台阶面上,若干所述PN结间隔设置在位于最底层的所述隔离层的底部,若干所述导电柱穿设在至少一层所述隔离层内以便将若干所述PN结与若干所述引出层一一对应地电连,所述引出层用于连接引线,若干所述电子接收层一一对应地覆盖在所述PN结的远离所述隔离层的一侧; 其中,所述电子探测装置与所述绝缘基体的远离所述金属面的一侧相连,若干所述灯丝与若干所述PN结位于所述组合体的同一侧,且一一对应。
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