恭喜北方夜视技术股份有限公司高兵祥获国家专利权
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龙图腾网恭喜北方夜视技术股份有限公司申请的专利一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114975036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210539937.0,技术领域涉及:H01J9/12;该发明授权一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法是由高兵祥;钟梓源;李磊;马怀超;李臻;李金沙;龚燕妮;赵恒;马锦雅设计研发完成,并于2022-05-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法在说明书摘要公布了:本发明公开了一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法,包括:接通Na源电流,引入一定量的Na,使光电流上升到一定高度,继续引入Na蒸汽,一定时间后,接通Sb源电流,并使之同时蒸发,在具有微纳光学结构的AVG内表面上形成Na3Sb层;接通K源、Na源和Sb源,Sb源电流以一定速率增加‑快速增加‑下降时,切断Sb源电流;接通Na源电流,以一定速率增加Na蒸汽,使光电流保持下降趋势,当光电流下降到一定高度时,切断K源、Na源和Sb源电流,降温处理,对多碱阴极进行表面激活,完成多碱光电阴极的制备。本发明能够显著地改善微纳光学元件对多碱阴极制备工艺的影响。
本发明授权一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法在权利要求书中公布了:1.一种基于微纳光学元件的多碱光电阴极制备方法,其特征在于,包括下列步骤: 步骤一,准备好蒸镀装置,接通Na源(2)电流,引入1-5min的Na,使光电流上升到10-15nA,继续引入Na蒸汽,1-3min后,切断Na源(2)电流; 步骤二,接通Sb源(4)电流,进Sb,在具有微纳光学结构的AVG玻璃(5)内表面上形成Na3Sb层; 步骤三,接通K源(1)、Na源(2)和Sb源(4),在此过程中,Sb源(4)以100-200mAmin的速率增加,直到光电流快速增加,当光电流达到最大值且出现下降趋势时,切断Sb源(4)电流; 步骤四,再次接通Na源(2)电流,并逐渐增加Na蒸汽,使光电流保持下降趋势,当光电流下降到2uA-2.5uA时,切断K源(1)、Na源(2)和Sb源(4)电流,并进行降温处理; 步骤五,当温度下降到170℃时,对多碱阴极进行表面激活处理,完成多碱光电阴极(6)的制备。
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