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恭喜北京机械设备研究所彭渤获国家专利权

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龙图腾网恭喜北京机械设备研究所申请的专利一种气敏传感器芯片制备方法以及装置获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115096942B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202210504948.5,技术领域涉及:G01N27/00;该发明授权一种气敏传感器芯片制备方法以及装置是由彭渤;刘宇航;许诺;臧金良;汪震海;张晨生设计研发完成,并于2022-05-10向国家知识产权局提交的专利申请。

一种气敏传感器芯片制备方法以及装置在说明书摘要公布了:本公开是关于一种气敏传感器芯片制备方法、装置、电子设备以及存储介质。其中,该方法包括:将研磨后的金属氧化物粉末第一次烧结处理后,通过丝网印刷机在芯片上涂覆成膜形成印刷区;基于第二预设条件对所述芯片进行烘烤处理,以使所述印刷区定型;将印刷区定型后的芯片基于第三预设条件进行第二次烧结处理,完成芯片的制备。本公开通过芯片进行特定温度二次烧结的工艺,去除材料中在高温高湿条件下吸收结合水的物质,以此提高材料稳定性,进一步提升传感器芯片的使用寿命。

本发明授权一种气敏传感器芯片制备方法以及装置在权利要求书中公布了:1.一种气敏传感器芯片制备方法,其特征在于,所述方法包括: 将研磨后的金属氧化物粉末基于第一预设条件进行第一次烧结处理;所述第一预设条件为:无保护气体,升温速率1-5℃min至500℃,500℃保温2-3小时; 将经过第一次烧结处理的金属氧化物粉末通过丝网印刷机在芯片上涂覆成膜,使所述金属氧化物粉末在所述芯片上形成印刷区; 基于第二预设条件对所述芯片进行烘烤处理,以使所述印刷区定型;所述第二预设条件为:烤箱温度预热90-100℃,90-100℃保温2-3小时; 将印刷区定型后的芯片基于第三预设条件进行第二次烧结处理,完成芯片的制备;所述第三预设条件为:无保护气体,升温速率1-5℃min至500℃,500℃保温2-3小时。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京机械设备研究所,其通讯地址为:100854 北京市海淀区永定路50号(北京142信箱208分箱);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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