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龙图腾网恭喜上海谦视智能科技有限公司申请的专利一种晶圆检测实时对焦装置及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114785941B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210316118.X，技术领域涉及：H04N23/67；该发明授权一种晶圆检测实时对焦装置及方法是由黄英俊设计研发完成，并于2022-03-29向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种晶圆检测实时对焦装置及方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种晶圆检测实时对焦装置及方法，其中，该装置包括：镜头模块、控制器和距离检测模块；其中，镜头模块和距离检测模块相对设置，镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙；镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像；距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息，并将起伏变化信息传输到控制器；控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号；镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离。本发明能够在基于简单和低成本的镜头整体设计的情况下，确保镜头对焦的准确性和效果，有助于提高了晶圆表面检测的准确性和效率。

本发明授权一种晶圆检测实时对焦装置及方法在权利要求书中公布了：1.一种晶圆检测实时对焦装置，其特征在于，包括：镜头模块、控制器和距离检测模块；其中，镜头模块和距离检测模块上下相对设置，镜头模块与距离检测模块之间留有放置晶圆的间隙； 镜头模块用于拍摄晶圆检测表面的图像； 距离检测模块用于检测晶圆背面的起伏变化信息，并将起伏变化信息传输到控制器； 控制器用于根据接收到的起伏变化信息计算镜头模块的移动补偿量，并根据计算的移动补偿量向镜头模块发出移动控制信号； 镜头模块包括运动轴和镜头；运动轴用于根据接收到的移动控制信号控制镜头在运动轴上远离或接近晶圆移动； 镜头模块还用于根据接收到的移动控制信号调整镜头与晶圆表面的距离； 距离检测模块用于检测自身与晶圆背面之间的距离，并将得到的距离信息传输到控制器，控制器根据接收到的距离信息计算所述移动补偿量；距离检测模块包括距离传感器；其中， 当晶圆为透膜或者半透明时，距离传感器用于检测自身与晶圆背面之间的第一距离，以及透过晶圆得到自身与晶圆正面之间的第二距离，并将得到的第一距离和第二距离传输到控制器； 控制器根据接收到的第一距离和第二距离计算所述移动补偿量。

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