恭喜广州新锐光掩模科技有限公司郑怀志获国家专利权
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龙图腾网恭喜广州新锐光掩模科技有限公司申请的专利一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114823283B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210270342.X，技术领域涉及：H01L21/02；该发明授权一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置是由郑怀志;施维设计研发完成，并于2022-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置在说明书摘要公布了：本申请提供了一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置，方法包括：将待清洗基板冷却至一定温度；对待清洗基板喷淋超纯去离子水形成水膜；存在颗粒处先开始结冰形成冰颗粒，冰颗粒上浮脱离滞留层；喷淋超纯去离子水将冰颗粒融化并旋干待清洗基板。装置包括：可旋转平台，用于承载待清洗基板；冷却构件，设置于可旋转平台内，且位于待清洗基板的下方，冷却构件用于对待清洗基板进行冷却；可移动手臂，位于可旋转平台的上方，可移动手臂上设有喷嘴，喷嘴的喷射方向朝向待清洗基板，可移动手臂带动喷嘴对待清洗基板喷淋超纯去离子水。通过本申请的处理方案，提高了微小颗粒的清除效能。
本发明授权一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法及装置在权利要求书中公布了：1.一种去除微小颗粒的冷冻清洗方法，其特征在于，所述方法包括： 将待清洗基板冷却至一定温度，所述待清洗基板冷却的温度范围为零下20度至零下40度； 对冷却后的所述待清洗基板喷淋超纯去离子水形成水膜，以使水膜中，在存在颗粒处先开始结冰形成冰颗粒，从而利用冰的密度比水小的物理原理使得所述冰颗粒在水膜中上浮脱离滞留层； 喷淋超纯去离子水将所述冰颗粒融化并旋干所述待清洗基板，其中所述喷淋超纯去离子水将所述冰颗粒融化过程中，所述超纯去离子水的温度范围为15℃-25℃，由于冰会从上层开始融化，旋转时水将颗粒带走去除。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人广州新锐光掩模科技有限公司，其通讯地址为：510555 广东省广州市(中新广州知识城）亿创街1号406房之518；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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