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龙图腾网恭喜西北工业大学宁波研究院申请的专利一种MEMS微型电流传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114563611B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210033997.5，技术领域涉及：G01R19/00；该发明授权一种MEMS微型电流传感器是由郝永存;王延龙;苑伟政;常洪龙设计研发完成，并于2022-01-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种MEMS微型电流传感器在说明书摘要公布了：本发明公开了一种MEMS微型电流传感器，属于传感器技术领域。所述微型电流传感器主要包括热驱动器部分Ⅰ和谐振器部分Ⅱ。所述热驱动器部分Ⅰ主要包括锚点1和V型梁2；所述V型梁2的两个开口端固定于锚点1上，另一端即尖端与谐振器部分Ⅱ相连。本发明利用电流的热效应使V型梁2膨胀产生热应力，改变谐振器一3的刚度，使谐振器一3和谐振器二6的幅值比改变。相较于现有技术，避免了外界的电磁干扰，在结构参数θ的优选范围内能够满足特定应用场景对传感器微型化、高精度和高鲁棒性的测量要求。

本发明授权一种MEMS微型电流传感器在权利要求书中公布了：1.一种MEMS微型电流传感器，其特征在于：主要包括热驱动器部分Ⅰ和谐振器部分Ⅱ； 所述热驱动器部分Ⅰ主要包括锚点1和V型梁2；所述V型梁2的两个开口端固定于锚点1上，另一端即尖端与谐振器部分Ⅱ相连； 所述谐振器部分Ⅱ主要包括谐振器一3、谐振器二6、耦合结构11、中锚点5和右锚点8；所述谐振器一3主要包括谐振梁12、驱动电极4和检测电极13，所述谐振器二6主要包括谐振梁10、驱动电极7和检测电极9；所述谐振器一3与谐振器二6通过耦合结构11实现弱耦合，所述耦合结构11固定于中锚点5上，耦合结构11对系统的刚度影响很弱，能够实现两个谐振器之间的弱耦合；所述谐振器一3与V型梁2相连，谐振器二6与右锚点8相连；所述锚点1与V型梁2间的角度θ根据以下公式决定： 其中，Imin表示电流传感器的分辨率，Imax表示电流传感器的量程；ρ是材料的电阻率，h为系统对外界等效换热系数，A为系统对外界的等效换热面积，A1为V型梁的有效横截面积，l1为V型梁梁臂长度，A2为谐振梁的有效横截面积，l2为谐振梁的长度，kmin为谐振梁对刚度扰动的敏感分辨率，α为材料的线膨胀系数，E为材料的杨氏模量，[σ]为材料的许用应力，nb为安全系数。

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