恭喜长鑫存储技术有限公司王晓获国家专利权
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龙图腾网恭喜长鑫存储技术有限公司申请的专利一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114357783B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210020351.3，技术领域涉及：G06F30/20；该发明授权一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质是由王晓设计研发完成，并于2022-01-10向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质在说明书摘要公布了：本发明公开了一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质，用以提高半导体仿真的准确度。首先获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录，根据该历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值，基于多个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，使用至少一个目标生产设备对半导体生产进行模拟。由于目标生产设备是根据不同批次晶圆的每个生产设备的等待时长进行聚类分析得到的，因此目标设备的等待时长相似，使用等待时长相似的设备作为仿真设备，可以提高仿真的准确度。
本发明授权一种半导体生产的仿真方法、装置、设备及介质在权利要求书中公布了：1.一种半导体生产的仿真方法，其特征在于，所述方法包括： 获取预设时长内不同批次晶圆的历史生产记录； 根据所述历史生产记录，计算每个生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值； 基于多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行聚类分析，根据聚类结果确定至少一个目标生产设备，具体包括：对多个所述生产设备的等待时长的标准差和等待时长的平均值进行二聚类分析，从聚类结果中选择稳定性较强的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值的多个所述生产设备； 将选择的一组等待时长的标准差和等待时长的平均值对应的多个所述生产设备中的至少一个生产设备作为目标生产设备； 使用至少一个所述目标生产设备对半导体生产进行模拟。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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