恭喜北京中科科仪股份有限公司刘其武获国家专利权
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龙图腾网恭喜北京中科科仪股份有限公司申请的专利一种密封结构及扫描电镜获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114062401B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111567092.8,技术领域涉及:G01N23/04;该发明授权一种密封结构及扫描电镜是由刘其武设计研发完成,并于2021-12-20向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种密封结构及扫描电镜在说明书摘要公布了:本申请公开了一种密封结构及扫描电镜,涉及真空密封技术领域,用于对腔室上供物体进出的传送通道进行密封,腔室的腔室壁上,围绕传送通道的通道口设置有固定密封面;密封结构包括有活动地连接在腔室壁上的密封部件,密封部件设置有移动密封面,密封部件移动来打开或闭合传送通道,且闭合通道口时,移动密封面与固定密封面压抵贴合而密封通道口。本申请提供的密封结构,以在保证密封及隔离效果的基础上,解决现有技术中通道的开闭及密封操作不够简便快速而对真空环境造成较大破坏性的问题,同时,该结构适用于相邻两个腔室之间的密封隔离。
本发明授权一种密封结构及扫描电镜在权利要求书中公布了:1.一种密封结构,用于对腔室1上供物体进出的传送通道2进行密封,其特征在于,所述腔室1的腔室壁11上设置有倾斜凸起41,所述倾斜凸起41上设置有与所述传送通道2相连通的通道口21,所述倾斜凸起的41的斜面形成围绕所述通道口21的固定密封面411;所述密封结构包括有活动地连接在所述腔室壁11上的密封部件3,所述密封部件3包括密封板31,所述密封板31上设置有由斜面形成的移动密封面311,所述密封部件3移动来打开或闭合所述传送通道2,且闭合所述通道口21时,所述移动密封面311与所述固定密封面411压抵贴合而密封所述通道口21; 还包括导向块5,所述导向块5上设置有位于所述倾斜凸起41两侧且槽口朝向所述倾斜凸起41的导向滑槽51,所述密封板31的两侧板端滑动连接在所述导向滑槽51内; 沿倾斜方向所述倾斜凸起41逐渐靠近所述导向滑槽51,且沿倾斜方向所述倾斜凸起41的一端位于所述导向滑槽51一侧、另一端为凸起尖端并延伸至遮盖部分所述导向滑槽51, 所述导向滑槽51与所述凸起尖端相对的区段中与所述固定密封面相对的槽壁形成约束面511,所述密封板31移动至嵌入所述约束面511和所述固定密封面411之间的位置时,受挤压而锁止,且所述移动密封面311压抵并密封所述固定密封面411; 所述移动密封面311及所述固定密封面411与所述腔室壁11之间均存在夹角,所述密封部件3的滑移方向与所述腔室壁11的延伸方向相平行。
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