买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！

龙图腾网恭喜美新半导体(天津)有限公司申请的专利MEMS谐振器的检测电路和检测方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113640600B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110832638.1，技术领域涉及：G01R31/00；该发明授权MEMS谐振器的检测电路和检测方法是由刘尧;凌方舟;蒋乐跃;丁希聪;林武设计研发完成，并于2021-07-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本MEMS谐振器的检测电路和检测方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种MEMS谐振器的检测电路和检测方法。所述检测电路包括：MEMS谐振器；电荷放大器，其输出端输出谐振感应信号；整流器，用于将所述谐振感应信号中的负值部分翻转或斩断得到整流后的谐振感应信号；积分器，其被配置的以设定积分时间为周期对整流后的谐振感应信号进行积分；采样电路，采样所述积分器的输出得到积分采样值；比较器，其得到数字方波信号；计数器，其以数字方波信号的预定跳变沿为触发信号进行计数，单位时间的计数值记为N1；处理单元，其根据计数值N1和单位时间计算获得自然谐振频率F0，根据自然谐振频率F0、积分采样值计算获得品质因子Q。这样，可以快速的、准确的对MEMS谐振器的谐振频率和品质因子进行测量。

本发明授权MEMS谐振器的检测电路和检测方法在权利要求书中公布了：1.一种MEMS谐振器的检测电路，其特征在于，其包括： MEMS谐振器，其被激励后撤离所述激励，以使得所述MEMS谐振器进入谐振状态； 第一感应电容，其一端与MEMS谐振器的第一端耦接； 第二感应电容，其一端与MEMS谐振器的第二端耦接； 电荷放大器，其第一输入端与第一感应电容的另一端耦接，其第二输入端与第二感应电容的另一端耦接，其输出端输出谐振感应信号； 整流器，其输入端耦接至所述电荷放大器的输出端，用于将所述谐振感应信号中的负值部分翻转或斩断得到整流后的谐振感应信号； 积分器，其被配置的以设定积分时间为周期对整流后的谐振感应信号进行积分； 采样电路，其被配置的采样所述积分器输出的谐振积分信号得到积分采样值； 比较器，其用于将整流后的谐振感应信号与预定阈值电压进行比较以得到数字方波信号； 计数器，其以数字方波信号的预定跳变沿为触发信号进行计数，单位时间t_unit的计数值记为N1； 处理单元，其根据计数值N1和单位时间计算获得MEMS谐振器的自然谐振频率F0，根据自然谐振频率F0、积分采样值计算获得品质因子Q， 在所述谐振感应信号中的负值部分被翻转的情况下，F0=N12*t_unit；或者，在所述谐振感应信号中的负值部分被斩断的情况下，F0=N1t_unit， 所述品质因子Q根据如下公式计算： 其中，为第个积分采样值，大于等于2小于等于n，n为积分采样值的个数，为第1个积分采样值，为设定积分时间。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人美新半导体(天津)有限公司，其通讯地址为：300450 天津市自贸试验区（空港经济区）西三道158号金融中心4-501室；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。