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龙图腾网恭喜中北大学申请的专利一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN111141404B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010043429.4，技术领域涉及：G01K7/16；该发明授权一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器是由王俊强;李孟委;朱泽华;梁海坚设计研发完成，并于2020-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器在说明书摘要公布了：一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器，传感器包括：封装外壳，以及设置在封装外壳顶端的陶瓷端盖和设置在封装外壳内部底端的陶瓷基板，陶瓷端盖上设置有多个通孔；检测单元，检测单元设置陶瓷基板上；互连组件，互连组件设置在检测单元两侧，互连组件一端与检测单元连接，另一端与外部连接。本发明利用包含石墨烯层的检测纳米薄膜替代其它金属材料或者半导体材料，提高了电阻式温度传感器的测温区间，由于石墨烯材料的高热导率，提高了器件的响应速度。检测纳米薄膜被氧化铝纳米薄膜和衬底包裹着，有效消除了周围环境中的干扰因素，隔绝了检测纳米薄膜与外界的直接接触，从而提升了器件的耐高温能力以及稳定性，可应用于及其恶劣的高温测试环境。

本发明授权一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器在权利要求书中公布了：1.一种薄膜结构石墨烯高温温度传感器，可以长期稳定工作在1500℃的高温，其特征在于，所述传感器包括： 封装外壳21，以及设置在所述封装外壳21顶端的陶瓷端盖7和设置在封装外壳21内部底端的陶瓷基板20，所述陶瓷端盖7上设置有多个通孔2； 检测单元，所述检测单元设置在由所述陶瓷端盖7、陶瓷基板20以及封装外壳21共同界定的内部检测空间内并位于所述陶瓷基板20上； 互连组件，所述互连组件设置在所述检测单元两侧，所述互连组件一端与所述检测单元连接，所述互连组件另一端与外部连接导出检测单元中的电学响应； 所述检测单元设置在所述陶瓷基板20上面向内部检测空间的一侧，所述检测单元包括：检测纳米薄膜1、金属电极、氧化铝纳米薄膜3、衬底19和阻挡层25、26，所述衬底19设置在所述陶瓷基板20上，所述检测纳米薄膜1设置在所述衬底19上表面，所述氧化铝纳米薄膜3覆盖在所述检测纳米薄膜1上表面，所述金属电极设置在所述检测纳米薄膜1两侧并与所述检测纳米薄膜1连接，所述阻挡层25、26设置在所述金属电极与衬底19之间；所述衬底材料为α-Al2O3材料； 所述金属电极由复合电极4、8，布线5、9和内部互连电极6、10组成，所述复合电极4、8通过布线5、9与内部互连电极6、10连接，所述复合电极4、8分别与中层石墨烯层23的两个相对的端部连接，所述互连电极与互连组件连接，用于导出检测纳米薄膜1中的电学响应； 所述互连组件包括：互连引线11、13，互连焊盘15、17，引线柱16、18和外部互连电极27、28，所述互连引线11、13，互连焊盘15、17，引线柱16、18和外部互连电极27、28顺次连接； 所述陶瓷基板20上开设有安装所述引线柱16、18的安装孔，所述引线柱16、18设置在所述安装孔内，所述互连焊盘15、17设置在所述陶瓷基板20上并与所述引线柱16、18一端连接，所述互连焊盘15、17上设置有互连凸点12、14，所述互连引线11、13一端与所述互连焊盘15、17上的互连凸点12、14连接，所述互连引线11、13另一端与所述内部互连电极6、10连接，所述封装外壳21底部设置有容纳所述外部互连电极27、28的开口，所述外部互连电极27、28设置在所述陶瓷基板20底部并与所述引线柱16、18另一端连接，所述外部互连电极27、28连接外部检测组件； 所述检测纳米薄膜1由上层氮化硼层22、中层石墨烯层23、下层氮化硼层24组成，所述上层氮化硼层22、中层石墨烯层23、下层氮化硼层24由上至下顺次设置，所述中层石墨烯层23为蛇形弯折结构或圆盘形弯折结构。

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