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恭喜材料科学姑苏实验室张迎午获国家专利权

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龙图腾网恭喜材料科学姑苏实验室申请的专利一种基于SAM的SEM图像处理方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119540274B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510061107.5,技术领域涉及:G06T7/136;该发明授权一种基于SAM的SEM图像处理方法是由张迎午;沈国栋;俞萍设计研发完成,并于2025-01-15向国家知识产权局提交的专利申请。

一种基于SAM的SEM图像处理方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种基于SAM的SEM图像处理方法,涉及SEM图像处理技术领域。处理方法包括利用SAM对SEM图像进行模型推理,获得多组分割掩膜版,判断分割掩膜版的第二掩膜版是否属于第一掩膜版,若是,计算分割掩膜版的第一掩膜版的白色像素和第一并集的第一交并比,并判断第一交并比是否大于第一阈值;若是,保留每个第二掩膜版集合中的目标掩膜版,并删除对应的第一掩膜版;若否,保留第一掩膜版,并删除对应的第二掩膜版集合中的目标掩膜版;对保留的目标掩膜版或第一掩膜版的白色像素区域进行颜色填充,获得SEM分割图像。本发明的SEM图像处理方法能够实现零样本训练的SAM对SEM图像的准确分割。

本发明授权一种基于SAM的SEM图像处理方法在权利要求书中公布了:1.一种基于SAM的SEM图像处理方法,其特征在于,包括:利用SAM对SEM图像进行模型推理,并获得多组分割掩膜版,每组所述分割掩膜版对应于一个图像集中区且包括第一掩膜版和至少一个第二掩膜版,所述第一掩膜版为每组分割掩膜版中白色像素数量最多的掩膜版,所述第二掩膜版为每组分割掩膜版中白色像素数量处于预设范围内的掩膜版;对所有所述分割掩膜版进行预处理;判断每组所述分割掩膜版的各个所述第二掩膜版是否属于所述第一掩膜版;若是,将所述第二掩膜版定义为目标掩膜版,并将所有所述目标掩膜版的集合定义为第二掩膜版集合,将所有所述目标掩膜版的白色像素的并集定义为第一并集;计算每组所述分割掩膜版的所述第一掩膜版的白色像素和所述第一并集的第一交并比,并判断所述第一交并比是否大于第一阈值;若是,保留每个所述第二掩膜版集合中的所有所述目标掩膜版,并删除对应的所述第一掩膜版;若否,保留第一掩膜版,并删除对应的第二掩膜版集合中的所有目标掩膜版;对保留的所有所述目标掩膜版或所述第一掩膜版的白色像素区域进行颜色填充,获得所述SEM图像的颗粒颜色填充图;所述第一阈值为范围在0.7-0.9中任一值,每个所述第一并集通过按位或运算获得;所述判断每组所述分割掩膜版的各个所述第二掩膜版是否属于所述第一掩膜版的步骤中还包括:计算每组所述分割掩膜版中所有掩膜版的所述白色像素的数量,并将所述白色像素数量最多的掩膜版定义为所述第一掩膜版;将所述第一掩膜版依次与所有所述第二掩膜版交集运算,获得所述第一掩膜版与每个所述第二掩膜版的多个第一交集;计算每个所述第一交集与对应的所述第二掩膜版的第二交并比,并判断所述第二交并比是否大于第二阈值,所述第二阈值为范围在0.9-1中任一值;若是,判定所述第二掩膜版属于所述第一掩膜版;所述交集运算的方式为按位与运算。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人材料科学姑苏实验室,其通讯地址为:215000 江苏省苏州市工业园区若水路388号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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