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龙图腾网恭喜哈尔滨工业大学申请的专利一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119714082B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202411910197.2，技术领域涉及：G01B11/02；该发明授权一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法是由付海金;王子乔;胡鹏程;熊信慷;陈仪松;王铮设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法在说明书摘要公布了：一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法，属于光学测量技术领域。解决了激光干涉仪pm级位移分辨力测不了及测不准的问题，本发明包括固定反射镜、光学玻璃板、连接轴、运动发生装置、标准器；固定反射镜用于将测量光路中透射过光学玻璃板的激光进行反射，使反射后的激光原路返回至激光干涉仪中；光学玻璃板安装在运动发生装置的连接轴上，光学玻璃板位于激光干涉仪和固定反射镜之间的测量光路上，光学玻璃板的几何中心位于运动发生装置的连接轴延长线上，且光学玻璃板的一面与连接轴垂直。本发明通过控制光学玻璃板运动实现了等效的激光干涉仪中nm至pm级位移产生的相移，对激光干涉仪pm级位移分辨力测试更充分且提高了测试精度。

本发明授权一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置及其方法在权利要求书中公布了：1.一种激光干涉仪pm级位移分辨力测试装置，其特征在于，包括固定反射镜1、光学玻璃板2、连接轴3、运动发生装置4、标准器6；所述固定反射镜1用于将测量光路中透射过光学玻璃板2的激光进行反射，使反射后的激光原路返回至激光干涉仪5中；所述光学玻璃板2安装在运动发生装置4的连接轴3上，所述光学玻璃板2位于激光干涉仪5和固定反射镜1之间的测量光路上，光学玻璃板2的几何中心位于运动发生装置4连接轴延长线上，且光学玻璃板2的一面与连接轴3垂直；所述运动发生装置4用于控制连接轴3带动光学玻璃板2旋转指定角度或移动指定位移；所述标准器6与运动发生装置4相对放置，所述标准器6用于测量运动发生装置4产生的角度或位移真实值；激光干涉仪5的发射激光透射过光学玻璃板2，然后入射到固定反射镜1上并反射后原路返回激光干涉仪5，反射后的激光与激光干涉仪5内部参考光发生干涉；设置测量光路的方向为Y轴，X轴与Y轴构成水平面，Z轴垂直于水平面；光学玻璃板2的初始位置为激光干涉仪5的发射激光垂直于光学玻璃板2入射面，或以激光干涉仪5的发射激光垂直于光学玻璃板2入射面的点位为圆点绕Z轴或X轴顺时针或逆时针旋转初始角度γ。

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