昆山振业杨亭精密机械有限公司刘勇获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山振业杨亭精密机械有限公司申请的专利一种光刻机用自动限位机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006381U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422227236.0，技术领域涉及：G03F7/20；该实用新型一种光刻机用自动限位机构是由刘勇;王云鹏;汪松亮设计研发完成，并于2024-09-11向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻机用自动限位机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种光刻机用自动限位机构，涉及光刻机技术领域，该光刻机用自动限位机构，包括一对竖板，两个所述竖板互相远离的一侧均设有自动限位组件，两个所述自动限位组件之间连接有传动组件；本实用新型公开了一种光刻机用自动限位机构，设置的第二安装孔和卡槽，可实现电机的固定安装，且电机可通过传动组件驱动自动限位组件，而光刻机中的载物台固定安装在自动限位组件中的安装座上，从而可以实现载物台的循环上下移动，载物台不会因过度移动出现损坏现象，同时安装后的电机收纳在前后两个竖板之间，起到一个收纳作用，不会占用光刻机内部的过多空间，实用性强。
本实用新型一种光刻机用自动限位机构在权利要求书中公布了：1.一种光刻机用自动限位机构，其特征在于：包括一对竖板10，两个所述竖板10互相远离的一侧均设有自动限位组件20，两个所述自动限位组件20之间连接有传动组件30；所述自动限位组件20包括与所述竖板10上下滑动连接的框形升降座21，所述框形升降座21的顶面一体连接有安装座22，所述框形升降座21内设有与其横向水平滑动连接的齿件23，两个所述竖板10互相远离的一侧转动连接有直齿轮24，所述直齿轮24与所述齿件23啮合连接，所述齿件23的一侧固定连接有限位件25，两个所述竖板10互相远离的一侧均焊接有与所述限位件25相匹配的长条26。
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