淮安捷泰新能源科技有限公司任明建获国家专利权
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龙图腾网获悉淮安捷泰新能源科技有限公司申请的专利一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223003020U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422208794.2，技术领域涉及：C23C16/44；该实用新型一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统是由任明建设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统在说明书摘要公布了：本实用新型涉及低压化学气相沉积技术领域，公开了一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统，包括反应气体供应单元、吹扫管路、硅烷管路和炉管，硅烷管路包括进气端和出气端，所述硅烷管路的进气端与反应气体供应单元连通，所述硅烷管路的出气端与炉管连通，所述吹扫管路的一端与氮气源连通，另一端与所述硅烷管路的出气端连通。该LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统在硅烷管路上配置有吹扫管路，能对硅烷管路进行定期吹扫，以将硅烷管路中的杂质吹扫出，避免造成粉尘堆积，提升了硅烷管路运行的稳定性，提高了产品质量和生产效率。
本实用新型一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统在权利要求书中公布了：1.一种LPCVD硅烷管路氮气吹扫系统，其特征在于，包括：反应气体供应单元、吹扫管路、硅烷管路和炉管；所述反应气体供应单元包括氧气源、硅烷气体源及氮气源；所述硅烷管路包括进气端和出气端，所述硅烷管路的进气端与反应气体供应单元连通，所述硅烷管路的出气端与炉管连通，所述吹扫管路的一端与所述氮气源连通，另一端与所述硅烷管路的出气端连通。
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