上海光键半导体设备有限公司瞿华亭获国家专利权
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龙图腾网获悉上海光键半导体设备有限公司申请的专利一种高度监测装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006746U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422201271.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种高度监测装置是由瞿华亭;张成;周俊强设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高度监测装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种高度监测装置，属于半导体键合领域。该高度监测装置包括键合机，用于承载待键合产品。高度监测设备，安装于键合机的上方，用于对待键合产品的高度进行测量并输出测量的数据。控制设备，连接至高度监测设备，用于接收高度监测设备输出的数据，并输出控制信号。激光器，配置于键合机的上方，并与控制设备连接，用于接收控制信号，并对待键合产品进行键合。本实用新型通过设置有高度监测设备，对待键合产品的高度参数进行进一步确认，从而能够解决在激光加热辅助键合过程中，因移动设备的偏移，或者上料系统输送的载有待键合产品的载体高度异常所导致的键合高度偏差问题，从而确保产品键合工艺的准确性和产品质量的稳定性。
本实用新型一种高度监测装置在权利要求书中公布了：1.一种高度监测装置，用于激光辅助键合系统，其特征在于，包括：键合机，用于承载待键合产品；高度监测设备，安装于所述键合机的上方，用于对待键合产品的高度进行测量并输出测量的数据；控制设备，连接至所述高度监测设备，用于接收所述高度监测设备输出的数据，并输出控制信号；激光器，配置于所述键合机的上方，并与所述控制设备连接，用于接收所述控制信号，并对所述待键合产品进行键合。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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