中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司黄政获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯南方集成电路制造有限公司;中芯国际集成电路制造(上海)有限公司申请的专利清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006747U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422210692.4，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统是由黄政设计研发完成，并于2024-09-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统，该清洁结构用于晶圆装载装置，晶圆装载装置包括第一装载装置和第二装载装置，清洁结构与第一装载装置设置在第二装载装置上；第一装载装置包括第一装载口和第一门体，第二装载装置包括第二装载口，清洁结构与第一装载装置分别位于第二装载口的两侧；清洁结构包括吸气排气结构，吸气排气结构可拆卸地设置在第二装载口处，吸气排气结构朝向第二装载口的一侧设置有开口，吸气排气结构在第一门体刚开启时，通过开口将附着在第一门体与第一装载口处的污染物吸收排出，以及在第一门体开启的过程中将第一装载装置中的气体吸收排出。本实用新型能够避免污染晶圆处理环境，提升洁净程度。
本实用新型清洁结构、晶圆处理系统及半导体生产系统在权利要求书中公布了：1.一种清洁结构，其特征在于，所述清洁结构用于晶圆装载装置，所述晶圆装载装置包括装载有晶圆的第一装载装置，以及第二装载装置，所述清洁结构与所述第一装载装置均设置在所述第二装载装置上；所述第一装载装置包括第一装载口和设置在所述第一装载口处的第一门体，所述第二装载装置包括与所述第一装载口对应的第二装载口，所述清洁结构与所述第一装载装置分别位于所述第二装载口的两侧；所述清洁结构包括吸气排气结构，所述吸气排气结构可拆卸地设置在所述第二装载口处，所述吸气排气结构朝向所述第二装载口的一侧设置有开口；所述吸气排气结构在所述第一门体刚开启时，通过所述开口将附着在所述第一门体与所述第一装载口处的污染物吸收排出，以及在所述第一门体开启的过程中，通过所述开口将所述第一装载装置中的气体吸收排出。
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