东莞市友辉光电科技有限公司余燕青获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市友辉光电科技有限公司申请的专利一种3D仿形光刻设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN222999871U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202422187588.8,技术领域涉及:B23K26/362;该实用新型一种3D仿形光刻设备是由余燕青;陶伟荣设计研发完成,并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种3D仿形光刻设备在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种3D仿形光刻设备,涉及光刻设备领域;包括机架,机架上固定安装有工作台;所述工作台上侧的左端固定安装有移动机构,移动机构上带动连接有旋转DD马达,旋转DD马达的转子处固定安装有产品治具;所述工作台上固定安装有激光器,激光器设置在平移机构的右方,激光器对准产品治具进行仿形光刻;对比传统在平面上进行光刻的方式而言,本实用新型可以实现3D光刻,使用范围更广。
本实用新型一种3D仿形光刻设备在权利要求书中公布了:1.一种3D仿形光刻设备,包括机架,机架上固定安装有工作台;其特征在于:所述工作台上侧的左端固定安装有移动机构,移动机构上带动连接有旋转DD马达,旋转DD马达的转子处固定安装有产品治具;所述工作台上固定安装有激光器,激光器设置在平移机构的右方,激光器对准产品治具进行仿形光刻。
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