拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司王永清获国家专利权
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龙图腾网获悉拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司申请的专利一种半导体设备腔体维护盖板装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006733U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422197313.2，技术领域涉及：H01J37/32；该实用新型一种半导体设备腔体维护盖板装置是由王永清;崔雨;吴凤丽设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种半导体设备腔体维护盖板装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种半导体设备腔体维护盖板装置，其包括：盖板组件，所述盖板组件包括至少两个可折叠的盖板以及连接于所述盖板边缘的限位件；支撑组件，所述支撑组件包括支撑盘以及设置于所述支撑盘底部的中心支撑单元；其中，当所述盖板组件水平打开时，所述支撑组件支撑于所述盖板组件的底部中心位置。本实用新型的半导体设备腔体维护盖板装置，其设计一种可折叠的盖板组件和支撑组件，在对半导体的腔体维护时，支撑组件放置于腔体中部，盖板组件水平展开，通过限位件固定于腔体边缘，并在盖板底部设置耐磨带，既为腔体维护提供了方便的操作视线和支撑位，也保证了对腔体边缘防护，还可降低部件坠落损坏加热盘的风险。
本实用新型一种半导体设备腔体维护盖板装置在权利要求书中公布了：1.一种半导体设备腔体维护盖板装置，其特征在于，包括：盖板组件，所述盖板组件包括至少两个可折叠的盖板以及连接于所述盖板边缘的限位件；支撑组件，所述支撑组件包括支撑盘以及设置于所述支撑盘底部的中心支撑单元；其中，当所述盖板组件水平打开时，所述支撑组件支撑于所述盖板组件的底部中心位置，所述限位件限位于设备腔体的边缘。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人拓荆创益(沈阳)半导体设备有限公司，其通讯地址为：110171 辽宁省沈阳市浑南区水家900号；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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