昆山科迪特精密工业有限公司李伟伟获国家专利权
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龙图腾网获悉昆山科迪特精密工业有限公司申请的专利一种晶圆加热装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223006745U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422185924.5，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆加热装置是由李伟伟设计研发完成，并于2024-09-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆加热装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆加热装置，涉及晶圆加工设备技术领域，包括包括加热台，加热台的顶部安装有移动组件，移动组件中包括移动块，移动块的底部固定安装有电动伸缩杆一，电动伸缩杆一的输出端上设置有吸附件，吸附件中包括吸附盘，吸附盘的底部开设有吸附孔，吸附盘的顶部一侧连接有吸附管，吸附孔与吸附管相连通，本实用新型通过设置吸附件，利用电动伸缩杆一控制吸附盘与晶圆相贴合，使吸附盘上均匀设置的吸附孔与晶圆紧密贴合，通过吸附管连接外界抽气设备进行抽气，使吸附孔内形成负压，从而产生吸附力将晶圆紧紧吸附在吸附盘上，避免在移动时晶圆掉落，均匀设置的吸附孔能够提供更均匀的吸附力分布避免出现受力不均的问题。
本实用新型一种晶圆加热装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆加热装置，包括加热台1，所述加热台1上安装有加热板3，其特征在于：所述加热台1的顶部安装有移动组件2，所述移动组件2中包括移动块25，所述移动块25的底部固定安装有电动伸缩杆一6，所述电动伸缩杆一6的输出端上设置有吸附件7，所述吸附件7中包括吸附盘71，所述吸附盘71的底部开设有吸附孔72，所述吸附盘71的顶部一侧连接有吸附管73，所述吸附孔72与吸附管73相连通。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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