恭喜成都晶宝时频技术股份有限公司杨清明获国家专利权
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龙图腾网恭喜成都晶宝时频技术股份有限公司申请的专利一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN119396238B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202510000188.8,技术领域涉及:G05D27/02;该发明授权一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统是由杨清明;黄建友;林永焱;文大福设计研发完成,并于2025-01-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统在说明书摘要公布了:本发明涉及自动控制领域,具体是一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统,通过实时采集固化隧道炉内的温度数据和氧气含量数据,在根据多个时间点的温度数据和氧气含量数据进行温度稳定性分析以及含氧量趋势分析。在温度不稳定或者含氧量上升至警戒线时,自动对固化隧道炉内的温度和氧气含量进行调节。从而避免出现因为氧气含量上升至较高水平或者温度出现异常波动导致的一个批次的石英晶体元器件半成品质量下降或报废。本申请可以提高晶体元器件在生产时的良品率,并降低生产成本提高产品品质。
本发明授权一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法及系统在权利要求书中公布了:1.一种晶体元器件的固化过程的气体监测调节方法,其特征在于,包括步骤: 获取固化隧道炉内部的当前时间段中多个时间点的温度数据和氧气含量数据,其中,所述当前时间段包括当前时间点以及当前时间点之前的目标数量个时间点,所述温度数据包括固化隧道炉内部的多个位置的温度值,所述氧气含量数据包括固化隧道炉内部的多个位置的氧气含量值; 基于所述多个时间点的温度数据确定所述当前时间段的温度稳定性,以及基于所述多 个时间点的氧气含量数据确定所述当前时间段的氧气含量趋势;基于所述多个时间点的温 度数据确定所述当前时间段的温度稳定性,包括:计算每个时间点对应的温度数据的平均 值,得到多个时间点的温度平均值,其中,表示时间点序号;计算每个时间点的温度平 均值与预设的温度参考值的差值的绝对值;计算多个时间点的差值的绝对 值的方差和平均值;在所述方差大于预 设的方差阈值,或者,所述平均值大于预设的平均值阈值时,判定所述当前 时间段的温度不稳定; 在所述当前时间段的温度不稳定时,基于预设的温度调节单元对所述固化隧道炉内部 的气体温度进行调节;在所述当前时间段存在氧气含量上升趋势,并且当前时间点的氧气 含量触发警戒线时,基于预设的氧气含量调节单元对所述固化隧道炉内部的氧气含量进行 调节;基于预设的温度调节单元对所述固化隧道炉内部的气体温度进行调节,包括:S11,计 算所述当前时间点的温度值与预设的温度参考值的差值;S12,基于所述差 值计算所述固化隧道炉内部的热量调节值,其中,,为 所述固化隧道炉惰性保护气体的比热容,为所述固化隧道炉惰性保护气体的质量;S13, 基于所述热量调节值计算所述温度调节单元内的惰性保护气体的目标温度,,其中,为所述温度调节单元内的惰性保护气体的 质量;S14,基于所述目标温度对所述固化隧道炉进行内部热量调节,并重新采集目 标时间点的温度值,其中,目标时间点为固化隧道炉内部的多个位置的温度值相同的时 间点;S15,计算目标时间点的温度值与预设的温度参考值的差值;在时,将所述目标时间点作为当前时间点,并回到步骤S11,直至;在时,完成对所述固化隧道炉内部的气体温度进行调节, 其中,为预设的第一温差阈值;基于所述目标温度对所述固化隧道炉进行内部热量 调节,包括:计算所述目标温度与所述预设的温度参考值的差值的绝对值;在,将所述温度调节单元内的惰性气体加热至目标温度,打开所述固化隧道炉的进气端,并将处于目标温度的惰性气体注入至所述固 化隧道炉,以保持所述固化隧道炉内部气压平衡并完成温度调节,其中,为预设的第二温 差阈值;在,将差值拆分,得到或者个温差调节值,其 中,,或者,,为最后一个温差调节 值;基于或者个温差调节值计算所述温度调节单元内的惰性气体的温度,打开所述 固化隧道炉的进气端,并逐次将所述温度调节加热至对应温度后注入至所述固化隧道炉, 以保持所述固化隧道炉内部气压平衡并完成温度调节。
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