郑州合晶硅材料有限公司吴泓明获国家专利权
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龙图腾网获悉郑州合晶硅材料有限公司申请的专利一种用于槽式清洗设备的晶圆支撑装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023240U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422106314.1，技术领域涉及：H01L21/673；该实用新型一种用于槽式清洗设备的晶圆支撑装置是由吴泓明;钟佑生;陈志刚;简国雄;唐少辉设计研发完成，并于2024-08-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于槽式清洗设备的晶圆支撑装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种用于槽式清洗设备的晶圆支撑装置，包括2个摆臂、位于2个所述摆臂之间的2个滚轴和1个横档，2个所述滚轴和所述横档上均设有对应的晶圆放置槽；所述滚轴的两端设有外螺纹，所述摆臂上设有供固定螺母穿过的第一通孔，所述固定螺母穿过所述第一通孔与所述外螺纹配合；所述外螺纹的内部设有内螺纹孔，所述固定螺母的内部设有供固定螺丝穿过的第二通孔，所述固定螺丝穿过所述第二通孔与所述内螺纹孔配合；所述滚轴的内部沿轴向设有加强棒。本申请提供的支撑装置，既可使晶圆稳固竖立，同时大大提升了滚轴以及与摆臂连接处的刚性和适用性，使其不易断裂不易变形不易松动，减少了因为滚轴异常造成的晶圆报废。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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