天津中科晶禾电子科技有限责任公司冯策获国家专利权
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龙图腾网获悉天津中科晶禾电子科技有限责任公司申请的专利低温键合设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023228U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422006484.2，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型低温键合设备是由冯策;母凤文;谭向虎;刘福超;郭超设计研发完成，并于2024-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本低温键合设备在说明书摘要公布了：本实用新型属于晶圆键合技术领域，公开了一种低温键合设备。该低温键合设备包括腔体、支撑架和离子源组件，支撑架安装于腔体内，支撑架设有两个，分别为第一支撑架和与第一支撑架相对设置的第二支撑架，第一支撑架用于夹持第一样品，第二支撑架用于夹持第二样品，第一支撑架和第二支撑架内均设置有第一气体循环通道，第一气体循环通道用于循环低温气体；支撑架的温度选择性的配置在‑300℃‑0℃之间；离子源组件用于辐照第一样品和第二样品。本实用新型提供的低温键合设备，能够实现低温键合。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人天津中科晶禾电子科技有限责任公司，其通讯地址为：300451 天津市滨海新区塘沽海洋科技园新北路4668号创新创业园22-A号厂房二层C角；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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