杭州晶驰机电科技有限公司郭森获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州晶驰机电科技有限公司申请的专利一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016969U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421990963.6，技术领域涉及：C23C16/511；该实用新型一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室是由郭森;赵聪;万志炳设计研发完成，并于2024-08-16向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种微波等离子体化学气相沉积组合腔室，它属于微波等离子体化学气相沉积领域。本实用新型包括组合腔室、顶部法兰安装面和底部密封法兰安装面，组合腔室包括天线腔室、反应腔室、传输腔室和抽气腔室，组合腔室上方设置顶部法兰安装面，组合腔室下方设置底部密封法兰安装面，该顶部法兰安装面与天线腔室为一体结构，反应腔室上端与天线腔室焊接为一体，反应腔室下端与抽气腔室采用法兰连接紧固，抽气腔室侧面与传输腔室焊接为一体。本实用新型结构设计合理，安全可靠，可实现自动上下料，保障腔体结构内等离子体的均匀性，提高产品的均匀、稳定性，满足使用需求。
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