无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司戴立洪获国家专利权
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龙图腾网获悉无锡邑文微电子科技股份有限公司;江苏邑文微电子科技有限公司申请的专利静电消除装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223024641U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202421975896.0,技术领域涉及:H05F3/04;该实用新型静电消除装置是由戴立洪;刘丹设计研发完成,并于2024-08-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电消除装置在说明书摘要公布了:本实用新型提供了一种静电消除装置,涉及半导体技术领域。该静电消除装置包括底座、紫外机构和灯罩机构;底座具有晶圆承载位;紫外机构包括发光体,发光体能够发出紫外光线;灯罩机构设置于底座,灯罩机构设置有反光件,反光件能够反射发光体发出的紫外光线至晶圆承载位。该静电消除装置可以提升静电消除能力和静电消除效率。
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