苏州凯瑞纳米科技有限公司钦瑞良获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州凯瑞纳米科技有限公司申请的专利一种便于在线维护的膜厚监控设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223016954U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421951083.8，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种便于在线维护的膜厚监控设备是由钦瑞良设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种便于在线维护的膜厚监控设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种便于在线维护的膜厚监控设备。便于在线维护的膜厚监控设备，包括：固定盘，所述固定盘上端转动设有齿盘，所述齿盘上设有若干通孔，通孔内设有防护镜，所述固定盘一侧固定设有安装座，所述安装座上设有电机，所述电机上端设有齿轮，所述齿轮与齿盘啮合，所述固定盘上设有监控孔。本实用新型提供的便于在线维护的膜厚监控设备通过设置防护镜挡在监控探头前端可减小炉体内的镀膜环境对探头的影响，同时齿盘以及电机等相关构件实现多个防护镜位置的切换效果，当防护镜表面沾有镀膜料时可快速切换其他位置的防护镜对探头进行防护，该过程用时较短，不影响装置的连续工作。
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