弘塑科技股份有限公司吴宗恩获国家专利权
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龙图腾网获悉弘塑科技股份有限公司申请的专利气动控制喷嘴组件和基板处理装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023225U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421958383.9，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型气动控制喷嘴组件和基板处理装置是由吴宗恩;林君澔设计研发完成，并于2024-08-13向国家知识产权局提交的专利申请。
本气动控制喷嘴组件和基板处理装置在说明书摘要公布了：本申请公开了一种气动控制喷嘴组件和基板处理装置。气动控制喷嘴组件包括喷嘴本体、闭合活动件和气控驱动部。喷嘴本体包括入口端、出口端和内部通道。闭合活动件可移动地设置在所述喷嘴本体的所述内部通道中。气控驱动部与所述喷嘴本体和所述闭合活动件连接，用于驱动所述闭合活动件在所述内部通道中进行线性运动，以使得所述喷嘴本体在开启状态和关闭状态之间变化。在所述喷嘴本体处于所述关闭状态时，所述闭合活动件塞住位于所述喷嘴本体最末端的所述出口端。
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