苏州光越微纳科技有限公司田绪威获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州光越微纳科技有限公司申请的专利具有上浮动板的自适应找平装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223022531U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421902335.8，技术领域涉及：G03F7/00；该实用新型具有上浮动板的自适应找平装置是由田绪威;史晓华;刘晓成设计研发完成，并于2024-08-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本具有上浮动板的自适应找平装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种具有上浮动板的自适应找平装置，包括：上浮动板、下固定板，上浮动板的压印面用于吸附模板或晶圆，下固定板的压印面用于承载晶圆，下固定板下设有若干压力传感器；上浮动板的两端分别与两个升降驱动装置传动连接；在每个升降驱动装置的驱动端安装有驱动端板，两个驱动端板分别与上浮动板的两相对边通过若干浮动组件连接；浮动组件包括：螺栓、套设于螺栓的杆部的第一弹簧以及套设于螺栓的杆部的第二弹簧，螺栓的杆部用于连接驱动端板与上浮动板，第一弹簧置于驱动端板与上浮动板之间，第二弹簧置于螺栓的头部与上浮动板的上表面之间；上浮动板在第一弹簧、第二弹簧的作用下浮动。本实用新型能够有效实现自适应找平。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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