东莞市鼎力自动化科技有限公司李成获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市鼎力自动化科技有限公司申请的专利一种晶圆表面清洗箱获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223023219U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-24发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421859940.1，技术领域涉及：H01L21/67；该实用新型一种晶圆表面清洗箱是由李成;姚禄华;邱立阳;赵江风;张义设计研发完成，并于2024-08-02向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆表面清洗箱在说明书摘要公布了：本实用新型涉及晶圆片清洗设备技术领域，尤其涉及一种晶圆表面清洗箱；包括主箱体、管道组件、控温组件、副箱体及升降组件；主箱体包括箱本体、支撑体及载料件，箱本体设有第一内腔，支撑体设于第一内腔内，支撑体设有第二内腔，第二内腔与第一内腔连通，载料件位于第二内腔内，副箱体与主箱体围设成第三内腔；升降组件驱动载料件运动；控温组件包括加热体、冷却体及温控件；通过设置由本体、支撑体及载料件组成的主箱体，本体、支撑体、载料件及副箱体连接后形成第一内腔、第二内腔和第三内腔，管道组件供应不同的药剂在第一内腔内完成混合形成化学药剂，升降组件驱动载料件升降，加速晶圆片的清洗效率，提高生产效率，降低生产成本。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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